Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ
Khi vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn phải liên tục chiến đấu chống lại những yếu tố vô hình gây ô nhiễm. Chỉ cần một hạt bụi có kích thước 1 micron – thứ mà con người không thể nhìn thấy được – cũng đủ để làm hỏng toàn bộ lô wafer. Điều này thật khó chịu. Thông thường, nguyên nhân gây ô nhiễm lại chính là những bộ phận trong thiết bị, mà chúng ta khó có thể ngờ tới: các bộ phận tạo nhiệt.
Nếu các bóng đèn phát ra khí hoặc các hạt nhỏ, thì điều đó đồng nghĩa với việc bạn đang tạo điều kiện cho bụi bẩn xâm nhập vào quy trình sản xuất. Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn IR của mình.
Tại sao chất liệu lại quan trọng?
Hầu hết các loại thủy tinh hoặc thạch anh giá rẻ đều không thể chịu được nhiệt độ cao. Chúng sẽ bị phân hủy hoặc vỡ dưới tác động của nhiệt độ cao. Điều này rõ ràng không tốt chút nào.
Chúng tôi chọn thạch anh tổng hợp vì nó rất bền. Nó không bị ăn mòn bởi hóa chất và cũng không bị vỡ. Chúng tôi còn đảm bảo rằng lớp vỏ bọc bên ngoài thạch anh được liên kết chặt chẽ. Điều này giúp loại bỏ những lỗ nhỏ mà bụi bẩn có thể ẩn náu, từ đó giúp bề mặt wafer luôn sạch sẽ trong suốt quá trình xử lý nhiệt.
Kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác
Các công cụ dùng để xử lý wafer rất nhạy cảm với tốc độ tăng nhiệt. Để đạt được nhiệt độ mong muốn, chúng tôi điều chỉnh đường kính sợi dây tóc và điện áp để điều chỉnh công suất phát ra.
Bí quyết nằm ở chỗ: sóng hồng ngoại tầng ngắn tác động lên bề mặt wafer nhanh hơn sóng hồng ngoại tầng dài. Điều này giúp tạo ra độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer.
Nhưng cần lưu ý về mức công suất. Những bóng đèn này hoạt động ở nhiệt độ rất cao. Nếu bạn cố gắng tăng điện áp quá cao để đạt nhiệt độ mong muốn, bạn sẽ làm hỏng sợi dây tóc của bóng đèn nhanh hơn. Đây là một sự cân bằng phức tạp. Bạn cần cân nhắc giữa công suất và khả năng làm mát của bóng đèn để tránh làm hỏng nó.
Thay thế bóng đèn một cách dễ dàng
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể thay thế một cách dễ dàng. Không cần phải lo lắng gì cả. Các đầu nối được thiết kế đặc biệt để tránh việc ma sát tạo ra bụi bẩn – vì điều cuối cùng mà chúng ta muốn trong quá trình thay thế chính là có thêm bụi bẩn trong không khí.
Việc lắp đặt phải chính xác tuyệt đối. Nếu bóng đèn lệch một chút thôi, tia hồng ngoại sẽ không đúng vị trí, và điều này sẽ gây ra các điểm nóng trên bề mặt wafer. Chúng tôi luôn đảm bảo rằng bóng đèn được lắp đặt chính xác tại vị trí mà nó cần ở.
Một lưu ý cuối cùng: hãy yêu cầu nhân viên kỹ thuật phải cẩn thận khi sử dụng bóng đèn. Chỉ nên sử dụng khăn lau không chứa bụi và dung dịch IPA để làm sạch bóng đèn. Chỉ cần một dấu vân tay trên bề mặt thạch anh cũng có thể gây ra vết nám do nhiệt độ cao, làm gián đoạn việc phân phối nhiệt. Việc sửa chữa điều này rất khó khăn, vì vậy tốt nhất là nên tránh việc đó.