Hầu hết các bộ phận gia nhiệt thông thường chỉ tạo ra nhiệt ở mọi hướng. Trong những thiết bị xử lý chất bán dẫn có không gian hạn chế, điều này thực sự là một vấn đề lớn. Nhiệt lượng dư thừa sẽ lan vào các bộ phận của thiết bị. Khi nhiệt độ bên trong thiết bị quá cao đến mức không thể chạm vào được, bạn không chỉ gặp phải vấn đề về độ ổn định nhiệt mà còn có nguy cơ vi phạm các quy định an toàn.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách kết hợp các bóng đèn hồng ngoại công suất cao với vỏ bọc bằng thép không gỉ được thiết kế riêng.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Việc kiểm soát hướng phát nhiệt không chỉ liên quan đến bóng đèn mà còn liên quan đến khả năng phản chiếu ánh sáng của các bộ phận khác. Chúng tôi sử dụng thép không gỉ hoặc nhôm được đánh bóng để phản chiếu sóng hồng ngoại trực tiếp vào wafers hoặc vật liệu cần xử lý.
Bằng cách bảo vệ các mặt bên và phía sau, chúng tôi ngăn không cho nhiệt lượng lan vào khung máy. Kết quả là, các bộ phận bên ngoài của máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, còn nhiệt lượng thì được đưa đúng vào nơi cần thiết.
Chi tiết về vật liệu
Chúng tôi chọn thép không gỉ để làm vỏ bọc vì loại vật liệu này có thể chịu được áp lực lớn, đặc biệt trong môi trường hóa chất khắc nghiệt. Nó không bị biến dạng, ngay cả dưới áp lực nhiệt lớn trong quá trình xử lý chất bán dẫn.
Nhưng yếu tố quan trọng nhất vẫn là hình dạng của vỏ bọc. Vỏ bọc phải giữ bóng đèn ở vị trí chính xác. Nếu góc phản chiếu sai vài milimét thôi, bạn sẽ gặp phải tình trạng nóng quá mức ở vật liệu cần xử lý, và đó là một vấn đề lớn.
Một vài điều cần lưu ý
Có một nhược điểm là những vỏ bọc này chiếm nhiều không gian hơn. Bạn không thể đặt chúng vào chỗ dành cho cuộn dây gia nhiệt thông thường. Bạn cần tính toán kỹ độ sâu của bộ phận phản chiếu và để lại khoảng trống để tránh việc vỏ bọc bị nóng quá mức.
Một mẹo nhỏ: hãy sử dụng dây dẫn có khả năng chịu nhiệt cao. Ngay cả khi vỏ bọc có thể bảo vệ khung máy, bộ phận bóng đèn vẫn có thể bị nóng quá mức.
Ngoài ra, đừng quên việc tạo lỗ thông gió. Nếu bạn chặn dòng không khí, tuổi thọ của bóng đèn sẽ giảm. Hãy đảm bảo rằng bóng đèn luôn được thông gió tốt để nó có thể hoạt động bền lâu.