کلاس 100 کے کلین رومز کو صاف رکھنا واقعی بہت مشکل ہے۔ جب آپ کلاس 100 کا کلین روم چلاتے ہیں، تو آپ مسلسل ان نظر نہ آنے والے ذرات سے لڑتے رہتے ہیں۔ صرف ایک مائکرون کا گرد ذرہ بھی پورے ویفر کو خراب کرنے کے لئے کافی ہے۔ یہ بہت پریشان کن ہے۔ عموماً، اس کا سبب وہ چیزیں ہوتی ہیں جن کی توقع ہی نہیں کی جاتی… جیسے کہ ہیٹنگ عناصر۔
اگر لیمپ سے گیسیں خارج ہو رہی ہیں، یا چھوٹے چھوٹے ذرات نکل رہے ہیں، تو دراصل آپ اپنے پروسیس میں آلودگی کو داخل کر رہے ہیں۔ اسی لئے ہم اپنے آئی آر لیمپوں کے لئے اعلیٰ معیار کا مصنوعی کوارٹز استعمال کرتے ہیں۔
مواد کی اہمیت
زیادہ تر شیشہ یا سستا کوارٹز حرارت کو برداشت نہیں کر سکتا۔ بھاری حرارت کی وجہ سے یہ ٹوٹنا شروع ہو جاتا ہے۔ یہ اچھی بات نہیں ہے۔
ہم مصنوعی کوارٹز استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ مضبوط ہوتا ہے۔ یہ کیمیائی طور پر تحلیل نہیں ہوتا، اور اس سے چھوٹے چھوٹے ذرات بھی پیدا نہیں ہوتے۔ ہم یہ بھی یقینی بناتے ہیں کہ کوارٹز کی سطح مکمل طور پر بند ہو۔ اس سے وہ مائکروسکوپیک سوراخ بھی ختم ہو جاتے ہیں، جہاں گندگی چھپ سکتی ہے… اس طرح ویفر کی سطح ہمیشہ صاف رہتی ہے۔
حرارت کو درست رکھنا
ویفر ٹولز کو اس بات کی ضرورت ہے کہ حرارت کتنی تیزی سے پہنچتی ہے۔ اسے درست کرنے کے لئے، ہم فلامنٹ کی قطر اور وولٹیج کو ایڈجسٹ کرتے ہیں۔
چھوٹی لہروں والا آئی آر شعاع، لمبی لہروں والے شعاع کی نسبت ویفر کی سطح پر زیادہ تیزی سے پہنچتا ہے… اس سے پورے ویفر پر یکساں حرارت پیدا ہوتی ہے۔
لیکن پاور کے معاملے میں احتیاط ضروری ہے… یہ لیمپ بہت گرم ہوتے ہیں۔ اگر آپ وولٹیج کو زیادہ کرنے کی کوشش کریں، تو فلامنٹ جل جاتا ہے۔ یہ ایک توازن کا معاملہ ہے… آپ کو واٹیج کو ٹول کی کولنگ کی صلاحیت کے مطابق رکھنا ہوگا، تاکہ لیمپ کے سرے جل نہ جائیں۔
بغیر پریشانی کے لیمپوں کو تبدیل کرنا
ہم نے ان لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ انہیں آسانی سے تبدیل کیا جا سکے… کوئی پریشانی نہیں۔ کنیکٹرز بھی ایسے بنائے گئے ہیں کہ رگڑ سے گرد پیدا نہ ہو… کیوں کہ لیمپ کو تبدیل کرتے وقت ہوا میں مزید ذرات پیدا ہونا بالکل ناپسندیدہ ہے۔
لیمپ کو بالکل درست جگہ پر رکھنا ضروری ہے… اگر لیمپ تھوڑا سا بھی غلط جگہ پر ہو، تو آئی آر شعاع اپنے نشانے سے چوک جاتی ہے، اور ویفر پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں۔ ہم تناسب کو بہت احتیاط سے رکھتے ہیں، تاکہ لیمپ بالکل درست جگہ پر رہے۔
آخری نصیحت: اپنے ٹیکنیشنوں کو ہدایت دیں کہ وہ احتیاط سے کام کریں… صرف بغیر گندگی والے کپڑے اور آئی پی اے ہی استعمال کریں۔ کوارٹز کی سطح پر ایک بھی انگلی کا نشان، اعلیٰ درجہ حرارت کی وجہ سے ہمیشہ کے لئے باقی رہ جاتا ہے… اور یہ حرارت کی تقسیم کو خراب کر دیتا ہے۔ اسے ٹھیک کرنا بہت مشکل ہے… اس لئے بہتر ہے کہ ایسا ہی نہ ہونے دیا جائے۔