فیکٹری میں، اگر بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں تھوڑا سا بھی فرق پڑ جائے، تو دوبارہ عمل دہرانے کا کوئی موقع نہیں ہوتا۔ فوٹو ریزسٹ کے بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں ہونے والا یہ چھوٹا سا فرق، پورے مائکرو ایل ای ڈی ایپی-ویفر کو تباہ کر سکتا ہے۔ لہذا، ایسا ہیٹر ضروری ہے جو سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھ سکے، ہر بار، ہر شیفٹ میں۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم تیز ردِعمل والے، کلوزڈ-لوپ کنٹرول والے شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر استعمال کرتے ہیں، تاکہ درجہ حرارت ہر بار یکساں رہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھنا ضروری ہے، اور ہاٹ زون کو کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق بنایا گیا ہے، تاکہ کوئی ذرہ بھی پیدا نہ ہو۔
سافٹ بیکنگ اور ہارڈ بیکنگ کی اہمیت
سافٹ بیکنگ اور ہارڈ بیکنگ، کرٹیکل ڈائمینشنز کو کنٹرول کرنے میں مدد کرتے ہیں۔ درجہ حرارت کو مناسب سطح پر رکھنے سے، عمل کی کارکردگی بہتر رہتی ہے، اور فضول مال کم ہو جاتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم رہتی ہے؛ درست کنٹرول اور کم سٹینڈبائی لاس سے آپریشنل لاگت کم ہو جاتی ہے، بغیر پروڈکشن کی رفتار کم ہونے کے۔
اگر ان باتوں کو نظرانداز کیا جائے تو کیا ہوگا؟
یہ ہیٹرز، معیاری میکانی اور الیکٹریکل انٹرفیسز کے ذریعے موجودہ سسٹم میں استعمال کیے جا سکتے ہیں۔ لیکن الائنمنٹ اور گیس کے بہاؤ کو ٹول کے معیارات کے مطابق ہی رکھنا ضروری ہے۔ آپ کو اپنے ریزسٹ اور سبسٹریٹ کے لئے خصوصی ترتیبات کی ضرورت ہوگی۔ اور اگر آپ اعلی نمی کے ماحول میں کام کرتے ہیں، تو کنڈینسیٹ کے انتظام کی بھی ضرورت ہے۔ ہم پہلے ہی پرجیکشن اور ایگزاسٹ سسٹم کی ترتیبات متعین کر دیتے ہیں۔
جب پروڈکشن کی کارکردگی درجہ حرارت پر منحصر ہو، تو کنٹرول لازمی ہے۔
درجہ حرارت کو مناسب سطح پر رکھنے کے لئے، مناسب ہیٹر کا استعمال ضروری ہے؛ اس طرح عمل کی کارکردگی بہتر رہتی ہے۔