Як підтримувати чистоту в приміщеннях класу 100
Коли ви керуєте приміщенням класу 100, ви постійно боретеся з невидимими загрозами. Один мікрон пилу – щось, що навіть не видно – може зіпсувати цілу партію пластин. Це дуже розчаровуюче. Зазвичай причиною є те, чого ви навіть не очікуєте: самі елементи нагріву.
Якщо лампи видають шкідливі гази чи виділяють дрібні частинки, це фактично сприяє забрудненню процесу. Саме тому ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти для наших інфрачервоних ламп.
Чому матеріал має значення
Більшість скла чи дешевого кварцу не може витримати високі температури. Вони починають руйнуватися чи відшаровуватися під впливом високих температур. Це не дуже добре.
Ми використовуємо синтетичний кварц, тому що він міцний. Він не піддається хімічному розкладанню та не відшаровується. Ми також стежимо за тим, щоб оболонка кварцу була щільно закрита. Це усуває мікроскопічні пори, в яких може збиратися бруд. Таким чином поверхня пластини залишається чистою під час швидкого термічної обробки.
Правильна температура
Інструменти для обробки пластин чутливі до швидкості нагріву. Щоб досягти правильної температури, ми коригуємо діаметр філамента та напругу, щоб отримати оптимальний спектр випромінювання.
Секрет полягає у тому, що короткочастотне інфрачервоне випромінювання досягає поверхні пластини значно швидше, ніж довгочастотне. Це дозволяє досягти більш рівномірного теплового профілю по всій поверхні пластини.
Але слід бути обережними щодо потужності. Ці лампи гріються дуже сильно. Якщо намагатися досягти певної температури, підвищуючи напругу занадто сильно, це лише прискорить руйнування філаменту. Це потребує балансування – потрібно знайти правильний баланс між потужністю та здатністю пристрою до охолодження.
Заміна ламп без проблем
Ми розробили ці лампи так, щоб їх можна було легко замінити. Не потрібно жодних складнощів. Контакти ламп спеціально розроблені так, щоб уникнути створення пилу під час заміни – адже останнє, що потрібно під час заміни, – це ще більше частинок у повітрі.
Лампа повинна прилягати ідеально. Якщо вона буде трохи зміщена, інфрачервоне випромінювання не досягне правильної точки, що призведе до появи „гарячих точок“ на поверхні пластини. Ми стежимо за тим, щоб допуски були мінімальними, щоб лампа точно прилягала до свого місця.
Ще одна порада: попросіть своїх техніків бути обережними. Використовуйте лише серветки без ворсу та розчин IPA. Одна лише відбиток пальця на кварці може залишити постійний слід при високих температурах, що порушить рівномірний розподіл тепла. Це складно виправити, тож краще уникати такої ситуації.