На лінії 300 мм зміна температури на рівні 2°C під час процедури „soft bake“ є не просто зміною параметрів CD. Це означає втрату безлічі вихідних матеріалів. Тож ми створили кварцеву галогенну лампу для підтримки стабільної температури під час процесу, навіть коли обладнання працює на повну потужність.
Що має значення внутрішньо в пристрої
Емітер – це короткохвильовий галоген у високочистотному кварцовому корпусі; він випромінює жарку енергію з низькою тепловою інерцією. На поверхні пластини однорідність температури залишається в межах ±0,1°C, тож фоточутлива субстанція отримує стабільну температуру, без „гарячих точок“. Профіль лампи дозволяє підтримувати стабільну температуру як під час процедури „soft bake“, так і „hard bake“. Стабільна продуктивність лампи забезпечує точність критичних параметрів протягом тривалого часу роботи. Сумісність з класами чистих приміщень 1–100 досягається завдяки матеріалам з низьким рівнем випаровування та конструкції пристрою, яка не спричиняє появи частинок під час нагрівання.
Чому це важливо в літографії
У літографії стабільність температури безпосередньо впливає на якість продукції. Завдяки цій лампі можна досягти точного контролю ширини ліній, зменшити кількість бракованих продуктів та уникнути змін температури під час процесу. Швидка реакція лампи на зміни температури скорочує час виконання процедури, без перегріву. Стабільна продуктивність лампи також допомагає уникнути браку продукції. Пристрої працюють понад 5,000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%, що означає менше необхідності заміни пристрою та менше непланових перерв у роботі. Використання енергії є ефективним, оскільки тепло розподіляється пропорційно до площі пластини, а не до маси камери.
Поради щодо використання
Лампа не переносить локальних „гарячих точок“, тож її потрібно встановлювати з дотриманням вказаних правил розташування та напрямку потоку повітря. Обов’язково перевірте геометрію відбивача та температурний режим колектора – інакше може виникнути нерівномірне нагрівання. Лампа сумісна зі стандартним обладнанням виробника, але необхідно перевірити її інтеграцію під час профілактичного обслуговування, щоб уникнути невідповідностей у з’єднаннях та забезпечити належний рівень чистоти у приміщенні.