На лінії обробки знаходиться пластинка діаметром 200 мм, яка чекає на свою чергу для обробки фотополімером. Процес нагрівання є обов’язковим – це частина технологічних вимог. Навіть незначна зміна температури може призвести до зміни критичних розмірів пластинки. У такому разі процес стає неможливим до завершення. Ми використовуємо інфрачервоні лампи для нагрівання епітаксіального шару, щоб запобігти таким втратам на початковому етапі.
З технічної точки зору важливо те, що ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні галогенові лампи для швидкого та прямого нагрівання. Спектр випромінювання ефективно проникає в кремній та тонкі плівки. Система забезпечує однорідність температури на поверхні пластинки в межах ±0,1°C протягом усього процесу, а повторюваність результатів – в межах ±0,2°C між окремими циклами обробки.
Час реакції системи становить менше 50 мс, тож можна точно контролювати температуру під час процедур нагрівання та висихання. Умови роботи в чистій кімнаті також передбачені в конструкції: робота в класі 1–100 без утворення частинок, що підтверджується під час процесу обробки. Корпус лампи виготовлений з високочистих матеріалів, що дозволяє зменшити виділення газів.
Цей пристрій ефективний саме там, де це необхідно: у процесі літографії потрібен контрольований нагрів для стабілізації товщини фотополімеру та усунення стоячих хвиль. У процесі упаковки потрібне нагрівання, яке б сприяло зв’язуванню компонентів без перегрівання матеріалів. Під час чищення та сушіння потрібен контрольований нагрів для видалення розчинників без утворення дефектів на поверхні.
Ці лампи забезпечують такий контроль, при цьому витрачаючи менше енергії, ніж конвекційні печі. Швидке зниження температури також скорочує час процесу обробки. Ми бачили, що пристрої можуть працювати понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5% – це означає менше замін ламп та більш стабільний процес обробки.
Ось що потрібно знати заздалегідь: під час встановлення необхідно врахувати механічні параметри пристрою та його електричний інтерфейс. Потрібно визначити напругу живлення, тип роз’єму та спосіб охолодження – штучне повітря чи вода – перш ніж здійснювати замовлення.
Світло від лампи поширюється в лінійному напрямку, тож пристрої для кріплення пластинки можуть створювати тіні та локальні зони низької температури. Алейнмент та формування променя є частиною процесу налаштування, а не додатковим етапом.
Очікуйте короткий період адаптації для стабілізації роботи пристрою та перевірки однорідності температури на вашому субстраті. Після налаштування процес залишається стабільним.