
Sınıf 100 temiz oda olan yerleri gerçekten temiz tutmak
Sınıf 100 temiz odalarında çalışırken, en ufak bir toz parçası bile büyük bir sorun teşkil eder. Yarı iletken endüstrisinde asıl düşmanlar, gaz salınımı ve parçalanabilen malzemelerdir. Bunu önlemek için basit bir çözüm kullanıyoruz: yüksek saflıkta kuvars infrared lambaları ve Teflon ile izole edilmiş kablolar.
Yüksek saflıkta kuvarsın avantajları
Lamba kılıfları olarak sentetik kuvars kullanıyoruz. Çoğu cam türü ısıya dayanamaz; iyonlarını dışarı salar veya mikroskobik parçacıklar oluşur. Bu durum waferler için büyük bir sorundur.
Bu lambalar kısa dalga boylu infrared radyasyon kullanır. Enerji, etrafındaki havayı ısıtmak yerine doğrudan substrata ulaşır. Bu da tozların oluşmasını engeller ve böylece çalışma alanınızın temiz kalmasını sağlar.
Neden Teflon kullanıyoruz?
Standart PVC veya silikon kablolar ısıya karşı çok hassastır. Isındıklarında uçucu organik bileşikler salarlar. Bu gazlar silisyuma zarar verir ve böylece tüm ürünler boşa gider. Bu yüzden PTFE (Teflon) kaplı kablolar kullanıyoruz. Bu kablolar ısıya dayanabilir; dumuruz veya parçalanma olmaz. Sadece temiz enerji elde edilir.
Mühendislere birkaç tavsiye
Dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Yüksek saflıkta kuvars kırılgandır. Termal şoklara dayanıklıdır, ancak montaj sırasında hasar görürse kırılabilir. Montaj braketlerinin biraz esnek olmasına dikkat edin ki stres noktaları oluşmasın. Ayrıca kablolarınıza da dikkat edin. Teflon, silikona göre daha az bükülür. Eğer kabloyu bükerseniz izolasyon zarar görür. Biraz gevşek bırakın, sorun olmaz.
Her şeyi bir araya getirmek
Kuvarsı PTFE ile birleştirdiğinizde, hiçbir sızıntı olmayan bir ısıtma sistemi elde edersiniz. Hızlı kuruma veya kurutma için gerekli olan ısı yoğunluğunu elde edersiniz, ancak hava akışındaki partiküllerle mücadele etmek zorunda kalmazsınız. Bu sistem mükemmel şekilde işlev görür.