Çoğu standart ısıtma elemanı, ısınıyı her yöne yayar. Dar alanlardaki yarı iletken üretim ekipmanlarında bu durum gerçekten bir felaket olur. Isı, ekipmanın duvarlarına sızar ve iç kısım dokunulamayacak kadar sıcak hale gelir. Bu durumda sadece termal stabilite sorunlarıyla uğraşmak zorunda kalmazsınız; aynı zamanda güvenlik sorunları da ortaya çıkar.
Bunu çözmek için yüksek yoğunluklu kızılötesi lambaları özel paslanmaz çelik kapsüllerle bir araya getiriyoruz.
Isının doğru yere gitmesi Yöneltilebilir ısıtma sadece lambayla ilgili değildir; asıl mesele, reflektör ve kapsülün birlikte çalışmasıdır. Kızılötesi dalgalarını doğrudan wafer veya substrata yönlendirmek için parlatılmış paslanmaz çelik veya alüminyum kullanıyoruz.
Yan tarafları ve arkayı koruyarak ısının makinenin gövdesine sızmasını engelliyoruz. Böylece dış duvarlar serin kalır ve ısı tam da istediğiniz yere gider. Başka hiçbir yere gitmez.
Malzemelerle ilgili detaylar Kapsül için paslanmaz çeliği tercih ediyoruz; çünkü özellikle zorlu kimyasal ortamlarda bile dayanıklıdır. Yarı iletken işlemlerindeki ağır termal yükler altında bile şekil değiştirmez.
Ancak asıl önemli olan geometridir. Kapsül, lambayı mükemmel şekilde tutmalıdır. Eğer reflektör birkaç milimetre bile kayarsa, iş parçasında sıcak noktalar oluşur ve bu bir sorundur.
Dikkat edilmesi gerekenler Bu kapsüller daha fazla alan kaplar. Onları sadece sıradan ısıtma bobinleri için tasarlanmış yerlere yerleştiremezsiniz. Reflektörün derinliğini hesaba katarak ve kapsülün ısınmasını engelleyecek bir hava boşluğu bırakmanız gerekir.
Bir diğer ipucu ise kablolar için yüksek sıcaklığa dayanıklı kablolar kullanmaktır. Kapsül gövdeyi korumasına rağmen, lambanın kendisi hala çok sıcak olur.
Ayrıca havalandırmayı unutmayın. Hava akışını engellerseniz, lambanın ömrü kısalar. Havalandırmayı sağlayarak lambanın daha uzun süre çalışmasını sağlayabilirsiniz.