Fabrikalarda Karbon Emisyonlarını Azaltmak: Daha İyi Bir Kurutma Yöntemi
Dürüst olalım; yarı iletken üretim tesisleri büyük enerji tüketicileridir. Bu enerjinin çoğu ısı işlemleri ve kurutma işlemleri için harcanıyor. Eğer hâlâ geleneksel konveksiyon fırınları kullanıyorsanız, aslında devasa bir metal kutuyu ve içindeki havayı ısıtmak için para ödüyorsunuz. Bu tam anlamıyla israf.
Eğer karbon ayak izinizi gerçekten azaltmak istiyorsanız, oda yerine waferleri ısıtmaya başlamalısınız. İşte burada kızılötesi ışınlar devreye giriyor.
Eski yöntemin sorunları
Standart bir kurutma sürecini düşünün: Tüm odanın, duvarların, havanın… her şeyin ısıtılması gerekiyor. Bu hem yavaş hem de verimsiz bir yöntemdir.
Biz kısa dalga uzunluğuna sahip kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Çünkü bu lambalar aracı unsurlara ihtiyaç duymaz. Havanın ısılması yerine kızılötesi ışınlar doğrudan waferin yüzeyine etki eder. Bu çok hızlı bir işlemdir. Enerji tasarrufu açısından bakıldığında, beklemekte olan cihazların enerji tüketimi %30 ila %50 oranında azalıyor. Bu da elektrik faturası ve gezegen için büyük bir avantajdır.
Teknolojinin doğru kullanımı
Bunu mümkün kılmak için yüksek güçlü kuvars lambalar kullanıyoruz. İyi olan yanı ise bu lambaları belirli bölgelere odaklayabilmemizdir. Tüm alanı ısıtmak zorunda değiliz; belirli bölgelerdeki gücü ayarlayarak aşırı ısınmayı önleyebiliriz. SCR kontrol cihazları sayesinde sıcaklık toleranslarını koruyabiliyoruz.
Ancak burada bir sorun var: Bu lambalar, özellikle uç kısımlarında inanılmaz derecede ısınıyor. Eğer soğutma sistemlerini yetersiz bırakırsanız veya hava akışını düşürürseniz, lambalar yanabilir. Bu hassas bir denge gerektirir; ancak soğutma sistemi doğru şekilde ayarlandığında her şey yolunda gider.
Bu yöntemin avantajları
Yeşil enerji avantajlarının yanı sıra, bu yöntem fabrikanın daha verimli çalışmasını sağlar. Kızılötesi sistemler çok daha az yer kaplar. Süreçler daha kısa olduğundan, daha fazla wafer işlenebilir ve ek ekipman satın almanıza gerek kalmaz.
Ayrıca, enerji geri kazanım üniteleriyle birlikte kullanılırsa, soğutma aşamasında oluşan atık ısıdan faydalanılabilir. Bu oldukça mantıklı bir çözümdür.