Paketleme işleminden hemen önce, temizlik sonrasında kalan nem sadece orada kalmaz; bunun yerine kaplama malzemesinin içine sızabilir. Bu durum, CTE değerlerini değiştirir ve ileride ayrışma sorunlarına yol açar. Eğer hâlâ geleneksel ısı plakalarını kullanıyorsanız, kenar bölgelerindeki nem sorunlarıyla sürekli uğraşmak zorunda kalırsınız; ayrıca parçacık oluşumu da çözülmesi zor bir sorundur. Temiz, tekrarlanabilir ve termal olarak stabil olan kurutma ve fotoresist işlemlerine ihtiyacınız vardır.
Gerçekte önemli olan şeyler
Kvars emisyon cihazlarıyla çalışan kısa dalga boylu NIR teknolojisinden yararlanıyoruz. Bu teknoloji, organik maddeleri yanştırmadan yüzeyin alt kısımlarını hızlı bir şekilde ısıtır. Aktif yüzeydeki düzenlilik ±0,1°C civarındadır ve ayar noktaları ise ±0,5°C/s hızında kontrol edilebilir. Bu platform, Class 1–100 standartlarına uygun temiz odalarda kullanılabilir. Ayrıca, 0,35 μm/dakika hızında 0,1 μm’den küçük parçacıkların oluşmadığından emin olabiliriz. Yumuşak ve sert pişirme işlemleri de lotdan lota tekrarlanabilir şekildedir; böylece kritik boyutlar da istenen aralıkta kalır.
Neden bu teknoloji paketleme öncesinde işe yarar?
Paketleme öncesi işlemlerde akış oldukça basittir: Wafer’in kurutulması, ardından fotoresist işlemleri ve kurutma işlemleri yapılır. NIR teknolojisi, ısı tüketimini azaltır, pişirme süresini kısaltır ve enerji kullanımını düşürür. Böylece daha hızlı işlemler gerçekleştirilir, daha az nem kalır ve kenar bölgelerindeki problemler veya artık çözücülerden kaynaklanan sorunlar azalır. Aynı platform hem kurutma hem de pişirme işlemlerini gerçekleştirdiğinden, doğrulama işlemleri daha kolay hale gelir ve yedek parça ihtiyacı da azalır.
Zor yoldan öğrenilen şeyler
NIR teknolojisi için görüş hattının açık olması gerektiğinden, düzenliliği istediğiniz yerde korumak için yansıtıcı cihazlara ve doğru wafer yönlendirmesine ihtiyaç vardır. Emisyon cihazlarının aralığı ve güç yoğunluğu, wafer’in boyutlarına ve film katmanlarına uygun olmalıdır. Bu nedenle, ayarlar birlikte belirlenir. Ayarlar belirlendikten sonra işlem, en az sapmayla devam eder.