Как сохранить чистоту в помещении класса 100
При работе в помещении класса 100 даже небольшое количество пыли может привести к серьезным проблемам. В производстве полупроводников главными врагами являются выделение газов и материалы, которые со временем разрушаются. Чтобы этого избежать, мы используем простое решение: лампы из высокочистого кварца и провода с тефлоновой изоляцией.
Преимущества высокочистого кварца
Для изготовления оболочек ламп мы используем синтетический фусированный кварц. Обычное стекло не может выдерживать высокие температуры – оно начинает разлагаться, выделяя ионы или микроскопические частицы. Это катастрофично для пластин с полупроводниками.
Эти лампы использовали коротковолновое инфракрасное излучение. Энергия направляется непосредственно на поверхность подложки, а не нагревает всю окружающую воздушную среду. Это очень важно, так как это предотвращает возникновение конвективных течений, которые могут поднять пыль и осесть ею на поверхность работы.
Почему мы выбираем тефлон
Стандартные провода из ПВХ или силикона не выдерживают высоких температур. При нагревании они выделяют летучие органические соединения. Эти пары оседают на поверхности полупроводников, что делает весь продукт бесполезным.
Поэтому мы используем провода с тефлоновой изоляцией. Они выдерживают высокие температуры без повреждений. Нет дыма, нет отслаивания изоляции – только чистая энергия.
Несколько советов для инженеров
Следует помнить, что высокочистый кварц хрупок. Он хорошо переносит термические удары, но если его повредить во время установки, он может треснуть. Убедитесь, что крепления имеют достаточную гибкость, чтобы не создаваться точек напряжения.
Также следите за проводами. Тефлон не так легко гнется, как силикон. Если провод согнуть, это может привести к повреждению изоляции. Просто оставьте проводики немного свободными – все будет в порядке.
Итог
Когда мы сочетаем кварц с тефлоном, получается система нагрева, которая не имеет никаких утечек. Мы получаем необходимую плотность тепла для быстрого затвердевания или сушки, при этом не сталкиваемся с проблемами, связанными с пылью в воздушном потоке. Это просто эффективное решение.