Большинство стандартных нагревательных элементов излучают тепло во все стороны. В ограниченном пространстве полупроводникового оборудования это представляет собой настоящую проблему. Тепло попадает прямо в стенки оборудования. Когда внутренняя часть корпуса становится слишком горячей для прикосновения, возникают не только проблемы с тепловой стабильностью, но и проблемы с безопасностью.
Мы решаем эту проблему, используя высокоинтенсивные инфракрасные лампы в сочетании с специальными корпусами из нержавеющей стали.
Размещение тепла там, где это нужно
Целенаправленное нагревание зависит не только от самой лампы, но и от рефлектора и корпуса, которые работают вместе. Мы используем полированную нержавеющую сталь или алюминий для отражения инфракрасных волн прямо на пластину или подложку.
Защищая боковые поверхности и заднюю часть, мы предотвращаем распространение тепла внутри корпуса. В результате внешние поверхности остаются прохладными, а тепло идет именно туда, куда нужно. Никуда больше.
Детали по материалам
Мы используем нержавеющую сталь для корпусов, потому что она выдерживает серьезные нагрузки, особенно в агрессивной химической среде. Она не деформируется даже при сильных тепловых нагрузках, возникающих в процессе обработки полупроводников.
Но настоящий секрет заключается в геометрии. Корпус должен идеально фиксировать лампу. Если рефлектор сместится даже на несколько миллиметров, на обрабатываемом объекте появятся точки перегрева, что является проблемой.
Несколько советов
Есть один недостаток: такие корпусы занимают больше места. Их нельзя просто поместить в место, предназначенное для обычного нагревательного элемента. Необходимо учитывать глубину рефлектора и оставлять зазор, чтобы корпус не нагревался.
Еще один совет: используйте провода высокой температурной стойкости. Даже при наличии защитного корпуса, сама лампа может перегреваться.
Также не забывайте о вентиляции. Если вы перекроете поток воздуха, срок службы лампы значительно сократится. Обеспечьте проходимость воздуха, и лампа будет работать дольше.