Сокращение выбросов углерода на производстве: более эффективный способ сушки
Честно говоря, заводы по производству полупроводников — это огромные потребители энергии. Большая часть этой энергии тратится на тепловую обработку и сушку. Если вы все еще используете традиционные конвекционные печи, то фактически вы платите за нагрев огромной металлической коробки и воздуха внутри нее. Это слишком большие потери.
Если вы действительно хотите сократить свой углеродный след, необходимо перестать нагревать всю комнату и начать нагревать саму пластину. Вот здесь-то и приходит на помощь инфракрасное излучение.
Проблемы традиционного подхода
Представьте стандартный цикл сушки: необходимо нагревать всю камеру, стены, воздух… Всё это занимает много времени и является неэффективным способом.
Мы перешли на использование ламп с коротковолновым инфракрасным излучением. Они не требуют нагрева воздуха для нагрева пластины — инфракрасное излучение воздействует непосредственно на поверхность пластины. Это делает процесс гораздо быстрее. При анализе расходов на энергию мы видим, что потери энергии сокращаются на 30–50%. Это значительная экономия как для бюджета, так и для планеты.
Как правильно использовать эту технологию
Чтобы это сработало, мы используем высокомощные кварцевые лампы. Удобно то, что их можно регулировать по мощности. Не нужно нагревать всю камеру — достаточно регулировать мощность в определенных зонах, чтобы избежать возникновения „горячих точек“. Для поддержания стабильной температуры мы используем контроллеры SCR, которые позволяют быстро регулировать мощность.
Но есть один недостаток: эти лампы становятся очень горячими, особенно по краям. Если не обеспечить должное охлаждение, лампы просто сгорят. Это сложная задача, но если все сделать правильно, все будет работать без проблем.
Как это влияет на производство
Помимо экологических преимуществ, эта технология также способствует более эффективной работе завода. Системы с инфракрасным излучением занимают гораздо меньше места. Благодаря более коротким циклам сушки можно обрабатывать больше пластин без необходимости покупки дополнительного оборудования.
Это делает весь процесс более эффективным. А если вы хотите добиться максимальной эффективности, можно сочетать эти системы с устройствами для восстановления энергии. Таким образом можно использовать отходную теплоту для других целей. Это просто логично.