Прямо перед упаковкой любая влага, оставшаяся после очистки, не просто остается на поверхности — она может проникать в защитный слой. Это меняет показатели коэффициента теплового расширения, что в свою очередь может привести к разделению слоев материала в будущем. Если вы все еще используете традиционные нагревательные панели, то знаете, с какими проблемами приходится сталкиваться: постоянная необходимость борьбы с избытком влаги на краях пластины, а также проблема образования частиц, с которой трудно справиться. Необходимы процедуры сушки и обработки фотополимера, которые должны быть точными, повторяемыми и эффективными с точки зрения тепловых параметров.
Что действительно имеет значение на практике
Мы используем коротковолновый инфракрасный свет от кварцевых излучателей, настроенных на длины волн, поглощаемые водой и растворителями. Это позволяет быстро нагревать поверхность под слоем материала, без повреждения органических веществ. На всей активной поверхности однородность температуры составляет ±0,1°C, а скорость изменения температуры контролируется в пределах ±0,5°C/с. Устройство подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100. Мы можем гарантировать отсутствие частиц размером менее 0,1 мкм при скорости обработки 0,35 мкм/мин. Процедуры мягкой и жесткой обработки остаются стабильными от партии к партии, что обеспечивает точный контроль критических размеров.
Почему это полезно на этапе предупаковки
На этапе предупаковки процесс прост: сначала происходит сушка пластины, затем обработка фотополимера. Использование инфракрасного света сокращает время нагрева и потребление энергии. В результате ускоряется процесс обработки, снижается количество влаги на поверхности пластины, а также уменьшается количество бракованных изделий. Поскольку одно и то же устройство используется для сушки и обработки, процедура проверки становится проще, а количество запасных частей сокращается.
Чего нужно избегать
Инфракрасный свет требует наличия отражающих поверхностей и правильной ориентации пластины, чтобы обеспечить однородность температуры. Расстояние между излучателями и мощность излучения должны соответствовать размерам пластины и слоев материала. Поэтому мы разрабатываем оптимальные параметры вместе с клиентом. Необходимо провести краткую пробную серию обработок, чтобы настроить скорость нагрева и время его сохранения. После этого процесс будет работать стабильно.