Mantendo as salas limpas de Classe 100 realmente limpas
Quando se trabalha em uma sala limpa de Classe 100, é preciso lutar constantemente contra o que é invisível aos olhos humanos. Um único grão de poeira – algo que nem se consegue ver – já é suficiente para estragar todo um lote de wafers. Isso é frustrante. E, geralmente, o culpado é algo que nunca se esperaria: os elementos de aquecimento.
Se as lâmpadas liberarem gases ou partículas microscópicas, isso acaba por causar contaminação no processo de produção. Por isso, usamos quartzo sintético de alta pureza nas nossas lâmpadas de IR.
Por que o material é importante
A maioria dos vidros ou quartzos baratos não consegue resistir ao calor. Eles começam a se desintegrar ou a se desprendem sob cargas térmicas elevadas. Isso não é nada bom.
Usamos quartzo sintético porque ele é resistente. Ele não sofre erosão química e não se despedaça. Também garantimos que o invólucro do quartzo esteja bem selado. Isso evita a formação de poros microscópicos nos quais a sujeira pode se acumular, mantendo assim a superfície dos wafers imaculada durante o processamento térmico rápido.
Ajustando a temperatura corretamente
As ferramentas utilizadas para trabalhar com wafers são sensíveis à velocidade com que a temperatura aumenta. Para conseguir o resultado desejado, ajustamos o diâmetro do filamento e a tensão elétrica, a fim de obter uma emissão espectral precisa.
O segredo está no fato de que os raios infravermelhos de onda curta atingem a superfície do wafer muito mais rapidamente do que os de onda longa. Isso permite obter um perfil térmico mais uniforme em toda a superfície do substrato.
Mas é preciso ter cuidado com a potência das lâmpadas. Elas ficam muito quentes. Se você tentar aumentar a temperatura excessivamente, acabará danificando os filamentos rapidamente. É preciso equilibrar a potência com a capacidade de resfriamento da lâmpada, para evitar que seus extremos se danifiquem.
Substituindo as lâmpadas sem problemas
Projetamos essas lâmpadas para serem substituídas facilmente. Não há necessidade de complicações. Os conectores são feitos de maneira a evitar que o atrito gere poeira – afinal, o último coisa que se quer durante a substituição é mais partículas no ar.
A instalação deve ser precisa. Se a lâmpada estiver mesmo que ligeiramente fora do lugar, o feixe de IR não atingirá o alvo correto, resultando em pontos quentes na superfície do wafer. Mantemos as tolerâncias rigorosas para que a lâmpada fique exatamente onde a ótica espera que ela esteja.
Por último: peça aos seus técnicos para terem cuidado. Usem apenas panos livres de pelucias e IPA. Uma simples impressão digital no quartzo pode causar danos permanentes à distribuição de calor. É difícil consertar isso, então é melhor evitar desde já.