Na fábrica de chips quânticos, a qualidade dos chips não depende do acaso. Tudo se resume ao controle térmico. Alguns graus de variação durante o processo de aquecimento do fotolito podem destruir o chip – prejudicando as estruturas de coerência dos qubits e fazendo com que semanas de trabalho sejam desperdiçadas. Criamos um aquecedor especial para os chips quânticos, a fim de eliminar essa variabilidade.
O que realmente importa por trás disso tudo
Utilizamos radiação infravermelha de onda curta através de uma janela de quartzo, com elementos de aquecimento reforçados com fibra de carbono. Assim, o calor é transmitido de maneira rápida e eficiente. Na área ativa do chip, a uniformidade da temperatura permanece dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes ciclos de produção é de ≤0,05°C. Para salas limpas de classe 1–100, o design garante baixos níveis de emissão de gases e não gera partículas durante os ciclos térmicos. Isso resulta em confiabilidade 24/7, sem paradas não planejadas, com um tempo médio entre falhas superior a 50.000 horas.
Por que isso se encaixa no processo de fabricação de chips quânticos
Esse aquecedor foi projetado para os passos essenciais na fabricação de chips quânticos: litografia, aquecimento suave, aquecimento intenso, além do controle térmico, que é fundamental. A temperatura se estabiliza rapidamente, reduzindo o tempo de inatividade e mantendo o perfil do fotolito estável. Isso permite um controle mais preciso do espessura do filme fotolítico, menos necessidade de retrabalho e um tempo de ciclo previsível. O consumo de energia também diminui, pois a resposta térmica rápida significa menos tempo de processamento, ou seja, menos kWh por chip.
O que você precisa planejar antes de instalá-lo
A instalação requer uma fonte de alimentação dedicada de 24VDC e isolamento térmico adequado em relação aos módulos adjacentes. Sem isso, a estabilidade da temperatura será comprometida. O aquecedor suporta o padrão SECS/GEM, mas a integração só funciona se houver coordenação adequada entre as máquinas. Além disso, planeje bem o espaço disponível – o fluxo de ar e as distâncias afetam diretamente a uniformidade da temperatura.
Projetamos tudo pensando no processo de fabricação. Assim, você pode operar sem precisar se preocupar com problemas relacionados à ferramenta utilizada.