Het behouden van schone omgevingen in klasse 100
Wanneer je een schone omgeving in klasse 100 beheert, moet je voortdurend vechten tegen het onzichtbare. Alleen al één micrometer stof – iets wat je zelfs niet kunt zien – is voldoende om een hele lading chips te verpesten. Dat is frustrerend. Meestal is de oorzaak juist iets waar je niet aan zou denken: je verwarmingselementen.
Als je lampen giftige gassen afgeven of kleine deeltjes uitzenden, nodig je daarmee vervuiling uit in je proces. Daarom gebruiken we voor onze IR-lampen synthetisch kwarts van hoge kwaliteit.
Waarom het materiaal belangrijk is
Het grootste deel van het glas of goedkope kwarts kan de hitte niet aan. Ze beginnen onder zware thermische belastingen te breken of af te bladderen. Dat is niet goed.
We gebruiken synthetisch kwarts omdat dit materiaal zeer stevig is. Het vertoont geen chemische corrosie en bladdert ook niet af. We zorgen er ook voor dat de buitenlaag van het kwarts goed afgesloten is. Hierdoor verdwijnen die microscopische poriën waar vuil zich kan ophopen. Op deze manier blijft het oppervlak van de chip schoon tijdens het snelle thermische proces.
Het juiste temperatuurniveau bereiken
De hulpmiddelen voor het bewerken van chips zijn gevoelig voor de snelheid waarmee de temperatuur stijgt. Om dit perfect te regelen, passen we de diameter van het filament en de spanning aan, zodat we de gewenste spectrale uitstoot krijgen.
Het trucje is dat kortegolflengte-IR-straling veel sneller het oppervlak van de chip bereikt dan langegolflengte-IR-straling. Hierdoor ontstaat er een veel nauwkeuriger en consistenter temperatuurbereik over het hele oppervlak van de chip.
Maar let op: deze lampen genereren veel hitte. Als je probeert de gewenste temperatuur te bereiken door de spanning te verhogen, beschadig je de filaments eerder. Het is belangrijk om een balans te vinden tussen de vermogenssterkte en de koelcapaciteit van de lamp.
Ze gemakkelijk vervangen zonder problemen
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze eenvoudig kunnen worden vervangen. Er is geen rompslomp nodig. De verbindingen zijn speciaal ontworpen om wrijving te voorkomen – want het laatste wat je wilt tijdens het vervangen is nog meer stof in de lucht.
De lamp moet perfect passen. Als de lamp zelfs maar een beetje scheef zit, mist de IR-straling zijn doel en ontstaan er hete plekken op de chip. We houden de toleranties dus nauwkeurig in de gaten, zodat de lamp precies op de juiste plek zit.
Nog één tip: vraag je technici om voorzichtig te zijn. Gebruik alleen vingerschoonmaakdoekjes en IPA. Eén vingerafdruk op het kwarts zal bij hoge temperaturen brandmerken blijven zitten, waardoor de warmtedistributie wordt verstoord. Dit is moeilijk te repareren, dus het is beter om dit te voorkomen.