Omgaan met lampproblemen bij het opwarmen van wafers onder hoge belasting
Wanneer je de apparatuur gebruikt om wafers op te warmen onder hoge belasting, wordt het gevaarlijk. In particular kunnen kwartslampen barsten. En eerlijk gezegd: een gebroken lamp is een nachtmerrie. Het beschadigt niet alleen de apparatuur, maar er vallen ook glasstukken en chemische stoffen op de wafers terecht. Eén gebroken lamp betekent dat al je producten onbruikbaar zijn.
Daarom ontwerpen we onze infraroodsystemen op deze manier.
De ‘veiligheidsmarge’
Er is altijd een spanning tussen de hoeveelheid warmte die nodig is en het risico dat dit kan leiden tot schade. Het is verleidelijk om de lampen zo dicht mogelijk bij elkaar te plaatsen, zodat de opwarmingssnelheid toeneemt. Maar dat veroorzaakt grote thermische stress op het kwarts. We stellen een minimale veiligheidsmarge vast, gebaseerd op de vermogen van de lamp. Als een lamp kapot gaat, zorgt deze marge ervoor dat de brokstukken niet op de wafers terechtkomen.
Het voorkomen van vuil
We gebruiken hoogzuiver gefuseerd kwarts, omdat dit materiaal bestand is tegen de schokken die optreden bij snelle cycli. Maar dat is nog niet alles. We voegen ook beschermende elementen toe. Deze elementen zorgen er namelijk voor dat de warmte op de juiste plek terechtkomt. Als een lamp toch kapot gaat, blijven de brokstukken binnenin het apparaat zitten. Hierdoor blijven de wafers schoon.
Het evenwicht bewaren
Lampen met een hoog vermogen werken snel. Maar ze vragen veel van de stroomvoorziening en het koelsysteem. Als het koelsysteem niet goed werkt, stapelt de warmte zich op rondom de lampen. Dit leidt tot vroegtijdige schade aan de lampen. Om dit te voorkomen, moet je de stroomsterkte in balans brengen met de luchtstroom in het apparaat. Houd de afstanden precies in de gaten. Geef het systeem ruimte om te ademen, dan zal het langer meegaan.