Mantenere le camere pulite di classe 100 effettivamente pulite
Quando si gestisce una camera pulita di classe 100, si deve lottare costantemente contro elementi invisibili. Un singolo micron di polvere – qualcosa che non è nemmeno visibile – può rovinare l’intero lotto di wafer. È frustrante. Di solito, la causa del problema è qualcosa che non ci si aspetterebbe: i componenti di riscaldamento stessi.
Se le lampade emettono gas o particelle minuscole, in pratica si favorisce la contaminazione durante il processo di lavorazione. Ecco perché utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza per le nostre lampade a infrarossi.
Perché il materiale è importante
La maggior parte dei materiali in vetro o del quarzo economico non riesce a resistere al calore elevato. Iniziano a deteriorarsi o a spezzarsi sotto carichi termici elevati. Non è certo ideale.
Utilizziamo il quarzo sintetico perché è resistente: non subisce alterazioni chimiche e non si frammenta. Inoltre, assicuriamo che la struttura del quarzo sia ben sigillata. In questo modo vengono eliminati quei pori microscopici in cui possono nascondersi impurità, così la superficie del wafer rimane pulita durante i processi termici intensivi.
Regolare correttamente la temperatura
Gli strumenti utilizzati per lavorare sui wafer sono molto sensibili alla velocità con cui la temperatura aumenta. Per ottenere risultati ottimali, regoliamo il diametro del filamento e la tensione elettrica, al fine di ottenere un flusso termico uniforme su tutto il substrato.
Il trucco è questo: le onde a breve lunghezza raggiungono la superficie del wafer molto più velocemente rispetto alle onde a lunga lunghezza. Questo permette di ottenere un profilo termico più uniforme.
Tuttavia, bisogna fare attenzione alla potenza della lampada. Queste lampade generano molto calore. Se si tenta di raggiungere una temperatura specifica aumentando troppo la tensione, si distruggono i filamenti della lampada. Bisogna quindi trovare un equilibrio tra la potenza e la capacità di raffreddamento dello strumento, evitando così di danneggiare i filamenti.
Sostituire le lampade senza problemi
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere sostituite facilmente. I connettori sono progettati appositamente per evitare che la frizione generi polvere… visto che l’ultima cosa di cui si ha bisogno durante la sostituzione è ulteriore polvere nell’aria.
L’alloggiamento delle lampade deve essere perfetto: se la lampada non è posizionata correttamente, il fascio di raggi infrarossi non colpisce correttamente il wafer, causando punti caldi sulla superficie dello stesso. Teniamo quindi le tolleranze estremamente strette, affinché la lampada sia posizionata esattamente dove richiesto dagli strumenti di lavoro.
Un ultimo consiglio: chiedete ai tecnici di essere cauti. Utilizzate solo stracci privi di pelucchi e alcol isopropilico. Anche una sola impronta digitale sul quarzo può causare danni irreversibili alla distribuzione del calore. È meglio evitare tutto ciò.