Perché il riscaldamento a onde infrarosse direzionali è la soluzione ideale per le sale pulite
La maggior parte dei riscaldatori funziona facendo aumentare la temperatura dell’aria intorno a essi; di conseguenza, anche l’oggetto che si vuole riscaldare viene riscaldato. Nelle sale pulite destinate alla produzione di semiconduttori, questo rappresenta un problema serio.
Quando si riscalda l’interno dell’elettrodomestico, il calore non rimane fermo nel punto in cui è stato generato: si diffonde. Improvvisamente, il corpo dell’elettrodomestico diventa molto caldo al tatto, il che rappresenta un rischio per gli operatori. Inoltre, i sensori sensibili presenti nell’elettrodomestico perdono precisione a causa del calore elevato.
Come risolviamo questo problema
Utilizziamo invece lampade a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda. Si tratta di lampade simili a quelle utilizzate nelle torce elettriche, ma che emettono calore. I raggi infrarossi viaggiano in linea retta; non influenzano l’aria che attraversano, ma agiscono soltanto sull’oggetto che assorbe il calore. Regolando la lunghezza focale delle lampade, possiamo indirizzare l’energia direttamente verso il wafer o il substrato da riscaldare. L’energia colpisce il bersaglio e si ferma lì. Poiché le pareti interne dell’elettrodomestico non sono sulla linea di visuale dei raggi infrarossi, rimangono fresche.
Dettagli tecnici
Per ottenere la densità di calore necessaria senza far fondere la struttura dell’elettrodomestico, utilizziamo queste lampade in cicli di alta intensità di breve durata. Utilizziamo involucri in vetro di quarzo, in modo che le lampade possano raggiungere rapidamente la temperatura desiderata. Inoltre, utilizziamo riflettori specifici per mantenere il fascio di luce concentrato. In questo modo, il calore non si diffonde nel resto della struttura dell’elettrodomestico.
Un avvertimento importante: bisogna prestare attenzione all’allineamento delle lampade. Se lo specchio che riflette i raggi infrarossi è fuori allineamento anche di pochi gradi, non si riscalderà più il wafer, ma piuttosto i componenti interni dell’elettrodomestico.
Cosa significa per il giorno dopo giorno
Il vantaggio principale è che non è più necessario utilizzare quei grandi ventilatori per il raffreddamento interno. Questi dispositivi sono rumorosi e, cosa ancora più importante, creano particelle che non dovrebbero assolutamente trovarsi nelle sale pulite. Inoltre, il tempo di riscaldamento diventa più rapido, e la struttura esterna dell’elettrodomestico non diventa troppo calda al tatto.
Attenzione però: assicuratevi che la vostra fonte di alimentazione sia in grado di gestire l’aumento di corrente che si verifica quando le lampade vengono attivate. Se i cavi utilizzati sono troppo sottili, ci saranno cali di tensione, e la precisione della temperatura non sarà garantita.