Come evitare i cortocircuiti: lampade a irraggiamento infrarosso resistenti all’acqua per le linee di lavaggio dei wafer
Se avete mai lavorato in una linea di lavaggio dei wafer, conoscete bene i problemi che si presentano. Bisogna lottare costantemente contro questi problemi: è necessario che i wafer vengano riscaldati rapidamente, ma gli elementi di riscaldamento si trovano proprio nel mezzo di una nebbia di umidità e vapori chimici. È una situazione disastrosa. Di solito, questo porta a cortocircuiti o alla rottura degli elementi di riscaldamento stessi.
Ecco perché costruiamo le nostre lampade a irraggiamento infrarosso in modo che siano effettivamente resistenti all’acqua. Non c’è più bisogno di sperare che tutto vada bien ogni volta che inizia il ciclo di lavaggio.
Perché gli infrarossi a onde corte?
I forni tradizionali sono lenti: perdono tempo a riscaldare l’aria prima ancora di poter raggiungere i wafer. Noi utilizziamo gli infrarossi a onde corte perché permettono all’energia di arrivare direttamente dal bulbo alla superficie del wafer. È molto veloce. Inoltre, poiché queste lampade sono collegate direttamente al sistema di controllo del riscaldamento, non è più necessario indovinare cosa sta succedendo. Si può vedere in tempo reale quanto calore viene effettivamente trasmesso ai wafer. Se si vuole gestire una linea di produzione basata su dati, questa è l’unica soluzione per sapere esattamente cosa sta accadendo.
La parte complicata: progettare per ambienti umidi
La maggior parte delle lampade a irraggiamento infrarosso fallisce nelle zone di lavaggio a causa delle perdite d’acqua. È semplice: dobbiamo utilizzare involucri resistenti all’acqua e sigilli robusti nei punti in cui i fili entrano in contatto con la lampada.
Tuttavia, c’è un problema: non basta semplicemente sigillare tutto ermeticamente. Il quarzo si espande quando si riscalda; se l’involucro è troppo rigido, il tubo potrebbe rompersi. È quindi necessario trovare un equilibrio tra resistenza all’acqua e possibilità di espansione del materiale.
Alcune cose da tenere a mente
Se si utilizzano array a irraggiamento infrarosso ad alta densità, il tempo di riscaldamento sarà incredibilmente breve. Ma bisogna fare attenzione: così tanta calore in uno spazio ridotto crea molta pressione sul sistema di alimentazione elettrica.
Se si utilizzano molte lampade da 2kW in un unico modulo, non dimenticate i ventilatori di raffreddamento e i dissipatori di calore. Altrimenti, gli elementi elettronici situati vicino alle lampade potrebbero essere danneggiati.
La buona notizia? Questi sistemi possono essere collegati direttamente al PLC utilizzando i protocolli standard già in uso. È quindi possibile sostituire quei vecchi e lenti elementi di riscaldamento con soluzioni moderne e efficienti. Si smette di indovinare e si inizia a misurare.