Menghentikan masalah korsleting: Lampu IR yang tahan air untuk proses pembersihan wafer
Jika Anda pernah bekerja di tahap pembersihan wafer, pasti Anda tahu betapa merepotkannya pekerjaan ini. Anda harus berjuang terus-menerus untuk memanaskan wafer dengan cepat, tetapi elemen pemanas tersebut berada tepat di tengah-tengah uap kelembapan dan zat kimia. Ini merupakan situasi yang berbahaya. Biasanya, hal ini menyebabkan korsleting atau kerusakan pada komponen lampu tersebut.
Itulah sebabnya kami merancang lampu IR yang benar-benar tahan air. Dengan demikian, Anda tidak perlu khawatir setiap kali proses pembersihan dimulai.
Mengapa menggunakan gelombang pendek IR?
Oven konvensional tradisional memiliki kecepatan pemanasan yang lambat. Mereka membutuhkan waktu lama untuk memanaskan udara sebelum akhirnya panas tersebut sampai ke wafer. Kami menggunakan gelombang pendek IR karena energi panas langsung ditransfer dari lampu ke substrat tanpa melalui udara. Prosesnya sangat cepat.
Selain itu, karena lampu IR ini terhubung langsung ke kontroler pemanas, Anda tidak perlu menebak-nebak lagi. Anda dapat melihat secara real-time bagaimana panas tersebut mempengaruhi wafer. Jika Anda ingin menjalankan sistem produksi yang berbasis data, ini merupakan cara terbaik untuk mengetahui apa yang sebenarnya terjadi di dalamnya.
Masalah yang perlu diperhatikan:
Sebagian besar lampu IR gagal berfungsi di area pembersihan karena sambungan antar komponennya bocor. Kami mengatasi hal ini dengan menggunakan pelindung yang tahan air dan sambungan yang kuat di tempat kabel bersentuhan dengan lampu.
Namun, ada tantangan lainnya: Anda tidak bisa hanya menutup rapat komponen tersebut saja. Kuarsa akan mengembang saat dipanaskan. Jika penutupnya terlalu kaku, tabung lampu akan retak. Ini merupakan keseimbangan yang sulit antara “ketahanan terhadap air” dan “ruang gerak yang cukup”.
Beberapa hal yang perlu diperhatikan:
Jika Anda menggunakan array IR berkepadatan tinggi, waktu pemanasan akan menjadi sangat singkat. Namun, berhati-hatilah—panas yang tinggi di ruang sempit akan memberikan tekanan besar pada sistem penggerak listrik.
Jika Anda memasukkan banyak lampu 2kW ke dalam satu modul, jangan lupa untuk menyediakan kipas pendingin dan heat sink. Jika tidak, komponen elektronik yang berada di dekat lampu akan rusak.
Berita baiknya adalah sistem ini dapat terhubung langsung ke PLC menggunakan protokol standar yang sudah digunakan sebelumnya. Ini merupakan pengganti yang sempurna untuk pemanas lama yang tidak mampu mengikuti ritme produksi yang cepat. Anda tidak perlu menebak-nebak lagi, tetapi bisa mengukur secara akurat.