Di sana, wafer berdiameter 200 mm menunggu gilirannya untuk diberi lapisan fotoresist. Proses pemanasan ini bukanlah hal yang boleh diabaikan—itu merupakan bagian dari spesifikasi produksi yang harus dipatuhi. Jika suhu berubah sedikit saja, dimensi penting dari wafer pun akan berubah. Dengan demikian, proses produksi akan gagal. Kami menggunakan lampu inframerah untuk memastikan bahwa tidak ada penurunan kualitas pada wafer selama proses pemanasan.
Yang penting secara teknis adalah penggunaan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek untuk memberikan panas secara cepat dan langsung. Spektrum cahaya tersebut dapat meresap dengan baik ke dalam silikon dan lapisan tipis lainnya. Sistem ini mampu menjaga keseragaman suhu pada wafer hingga ±0,1°C di seluruh area proses, sedangkan tingkat重复abilitasnya tetap dalam kisaran ±0,2°C antar sesi produksi.
Waktu respons sistem ini kurang dari 50 ms, sehingga Anda dapat mengontrol suhu dengan tepat selama proses pemanasan. Desain ruang bersih juga sangat penting; sistem ini bekerja dalam kondisi kelas 1–100, tanpa adanya partikel debu sama sekali. Selain itu, bodi lampu terbuat dari bahan berkualitas tinggi agar gas yang dihasilkan tidak berlebihan.
Mengapa cara ini efektif? Dalam proses litografi, diperlukan proses pemanasan yang dapat diulangi untuk menstabilkan ketebalan lapisan fotoresist serta menghilangkan gelombang stasioner. Dalam proses pengemasan, diperlukan proses pengeringan yang tidak menyebabkan overheating pada bahan yang digunakan. Dalam proses pembersihan dan pengeringan, diperlukan panas yang terkendali agar pelarut dapat dihilangkan tanpa menyebabkan kerusakan pada permukaan wafer.
Lampu-lampu ini memberikan kontrol yang baik atas proses pemanasan, dan mereka menggunakan energi yang lebih sedikit dibandingkan oven konvensional. Waktu pengoperasian yang cepat juga membantu mengurangi waktu siklus produksi. Kami telah melihat alat-alat ini dapat beroperasi selama lebih dari 5.000 jam dengan penurunan kinerja kurang dari 5%, artinya tidak perlu sering mengganti lampu dan proses produksi tetap stabil.
Berikut yang perlu Anda ketahui sebelumnya: Proses instalasinya membutuhkan penyesuaian terhadap fitur mekanis dan antarmuka listrik alat tersebut. Pastikan tegangan, jenis konektor, serta sistem pendinginan yang digunakan sudah sesuai sebelum memesan alat tersebut. Cahaya yang dihasilkan oleh lampu hanya bisa mencapai area yang jelas, sehingga chuck dan alat penyangga lainnya dapat menciptakan titik-titik dingin. Penyesuaian posisi lampu dan pembentukan berkas cahaya merupakan bagian dari proses persiapan, bukan hal yang dilakukan setelahnya. Anda perlu menunggu waktu tertentu agar output lampu stabil, dan untuk memastikan keseragaman suhu pada wafer. Setelah itu, proses produksi akan tetap stabil.