Di pabrik pembuatan chip kuantum, tingkat keberhasilan produksi chip tidak terjadi secara kebetulan. Semua ini bergantung pada kontrol suhu yang tepat. Perubahan suhu sebesar beberapa derajat selama proses pemanasan fotorezist dapat merusak struktur kubit dalam chip tersebut, sehingga membuang-buang waktu dan usaha yang telah dilakukan selama proses integrasi chip. Kami merancang alat pemanas khusus untuk mengatasi masalah variabilitas suhu ini.
Apa yang benar-benar penting Kami menggunakan sinar inframerah gelombang pendek melalui jendela kuarsa, bersama dengan elemen pemanas yang terbuat dari serat karbon. Dengan cara ini, panas yang dihasilkan lebih cepat dan efektif. Di area aktif chip, tingkat keseragaman suhu tetap berada dalam rentang ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitas antar proses produksi adalah ≤0,05°C. Untuk ruang kerja kelas 1–100, desain ini mampu menjaga kadar gas yang keluar sangat rendah, serta tidak menghasilkan partikel apa pun selama proses pemanasan. Dengan demikian, alat ini memberikan keandalan 24/7 tanpa adanya downtime yang tidak terduga, dengan masa pakai yang melebihi 50.000 jam.
Mengapa alat ini cocok untuk proses pembuatan chip kuantum Alat pemanas ini dirancang khusus untuk langkah-langkah pembuatan chip kuantum, seperti litografi, proses pemanasan ringan, proses pemanasan intensif, dan pengelolaan suhu yang sangat penting. Suhu akan mencapai kondisi yang diinginkan dengan cepat, sehingga waktu tunggu menjadi lebih singkat, dan profil fotorezist tetap stabil. Hasilnya adalah kontrol ketepatan yang lebih baik, jumlah chip yang perlu diperbaiki berkurang, dan waktu siklus produksi yang lebih terprediksi. Penggunaan energi juga berkurang, karena respons suhu yang cepat berarti waktu yang dibutuhkan untuk proses pemanasan menjadi lebih singkat, sehingga konsumsi energi per chip berkurang.
Apa yang perlu dipersiapkan sebelum memasang alat ini Pemasangan alat ini membutuhkan sumber daya listrik 24VDC yang terisolasi dengan baik, serta isolasi termal yang efektif dari modul-modul lainnya. Jika hal ini tidak dilakukan, stabilitas suhu akan terganggu. Alat ini mendukung protokol SECS/GEM, tetapi integrasinya hanya akan berhasil jika proses koneksi antara mesin dan peralatan dilakukan terlebih dahulu. Selain itu, luas area pemasangan juga perlu dipertimbangkan, karena aliran udara dan jarak antar komponen mempengaruhi keseragaman suhu.
Kami merancang alat ini sesuai dengan proses produksi chip kuantum. Dengan demikian, Anda dapat menggunakan alat ini tanpa perlu khawatir lagi.