क्लास 100 क्लीनरूमों को वास्तव में साफ रखना
जब आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे होते हैं, तो आपको लगातार अदृश्य कणों से लड़ना पड़ता है। एक माइक्रोन जितना भी धूल का कण हो – जिसे आप देख ही नहीं सकते – वह भी पूरे वेफरों को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। यह बहुत ही परेशान करने वाली बात है। और आमतौर पर, ऐसी समस्याओं का कारण वही होता है जिसकी आपको उम्मीद ही नहीं होती – यानी आपके हीटिंग उपकरण।
यदि आपके लैंपों से गैस निकल रही है, या वे छोटे-छोटे कणों को छोड़ रहे हैं, तो आप अपनी प्रक्रिया में ही दूषण ला रहे हैं। इसीलिए हम अपने आईआर लैंपों के लिए उच्च शुद्धता वाला कृत्रिम क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं।
सामग्री का महत्व
अधिकांश काँच या सस्ते क्वार्ट्ज, ऊँचे तापमान को सहन नहीं कर पाते। ऐसी सामग्रियाँ तेज ऊष्मा के कारण टूटने लगती हैं। यह बिल्कुल भी अच्छा नहीं है।
हम कृत्रिम क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं, क्योंकि यह मजबूत होता है। यह रासायनिक रूप से भी नष्ट नहीं होता, और इसके कण भी नहीं टूटते। हम यह भी सुनिश्चित करते हैं कि क्वार्ट्ज की सतह पूरी तरह से बंद हो। ऐसा करने से वहाँ कोई छोटे-छोटे छिद्र नहीं रहते, जहाँ गंदगी छिप सके। इससे वेफरों की सतह तेज ऊष्मा के प्रभाव में भी साफ रहती है।
सही तापमान प्राप्त करना
वेफर उपकरणों को तापमान बढ़ाने की गति के बारे में बहुत सावधानी रखनी होती है। इसे सही रखने हेतु, हम फिलामेंट के व्यास एवं वोल्टेज को समायोजित करते हैं।
दरअसल, शॉर्टवेव आईआर किरणें लॉन्गवेव की तुलना में बहुत तेजी से वेफर की सतह पर पहुँचती हैं। इससे पूरी सतह पर समान तापमान प्राप्त होता है।
लेकिन वोल्टेज के मामले में सावधान रहना आवश्यक है। ऐसे लैंप बहुत गर्म होते हैं। यदि आप वोल्टेज को बहुत अधिक रखेंगे, तो फिलामेंट जल जाएँगे। इसलिए वोल्टेज को संतुलित रखना आवश्यक है।
बिना किसी परेशानी के लैंपों को बदलना
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि उन्हें आसानी से बदला जा सके। कोई परेशानी नहीं। कनेक्टर ऐसे ही बनाए गए हैं कि घर्षण से धूल न बने – क्योंकि लैंप बदलते समय हवा में और कण न आएँ।
लैंप को ठीक उसी जगह लगाना आवश्यक है। यदि लैंप थोड़ा भी तिरछा लग जाए, तो आईआर किरणें अपने लक्ष्य तक नहीं पहुँच पाएँगी, और वेफर पर गर्म बिंदु बन जाएँगे। हम ऐसी स्थितियों से बचने हेतु सख्त मानकों का ही उपयोग करते हैं।
एक बात और – अपने तकनीशियनों से कहें कि वे सावधान रहें। केवल लिंट-फ्री कपड़ों एवं आईपीए का ही उपयोग करें। क्वार्ट्ज पर एक ही उंगली का निशान भी ऊँचे तापमान पर नष्ट हो जाएगा, जिससे तापमान वितरण में बाधा आएगी। इसे ठीक करना बहुत मुश्किल है, इसलिए ऐसी स्थितियों से बचना ही बेहतर है।