वहाँ, 200 मिमी आकार के वेफर फोटोरेजिस्ट प्राप्त करने का इंतजार कर रहे हैं। “बेक” प्रक्रिया ऐच्छिक नहीं है… यह तो आवश्यक ही है। तापमान में थोड़ा सा भी बदलाव होने से वेफर के आयाम बदल जाते हैं… ऐसी स्थिति में प्रक्रिया विफल हो जाती है। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (NIR) क्वार्ट्ज हैलोजन एमिटरों का उपयोग करते हैं… ताकि तेज़ एवं सीधी ऊष्मा प्राप्त हो सके। यह ऊर्जा सिलिकॉन एवं पतली परतों में आसानी से पहुँच जाती है। इस प्रणाली में वेफर के विभिन्न हिस्सों में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… एवं प्रक्रिया की पुनरावृत्ति में भी यह मान ±0.2°C के भीतर ही रहता है।
प्रतिक्रिया समय 50 मिलीसेकंड से भी कम है… इसलिए “सॉफ्ट बेक”, “हार्ड बेक” एवं “क्यूरिंग” प्रक्रियाओं के दौरान तापमान को ठीक रखा जा सकता है। क्लीनरूम में भी ऐसी ही स्थिति बनी रहती है… क्लास 1–100 में कोई कण उत्पन्न ही नहीं होता… एवं लैंपों में उच्च शुद्धता वाली सामग्री का उपयोग किया गया है… ताकि गैसें बाहर न निकलें।
यह क्यों काम करता है?
लिथोग्राफी में, फोटोरेजिस्ट की मोटाई को नियंत्रित करने हेतु “सॉफ्ट बेक” आवश्यक है… पैकेजिंग में, अंडरफिल को ओवरहीट होने से बचाने हेतु भी ऐसी ही प्रक्रियाएँ आवश्यक हैं… सफाई एवं सुखाने की प्रक्रियाओं में भी नियंत्रित ऊष्मा ही आवश्यक है… ताकि विलायक बाहर न निकलें।
ये लैंप ऐसा ही नियंत्रण प्रदान करते हैं… एवं इसके लिए कन्वेक्शन ओवनों की तुलना में कम ऊर्जा ही आवश्यक है। तेज़ तापमान घटने की प्रक्रिया से चक्र-समय भी कम हो जाता है। हमने ऐसे उपकरणों को 5,000 घंटे से अधिक समय तक चलते हुए देखा है… एवं इस दौरान आउटपुट में 5% से भी कम कमी आई है… यानी लैंपों को बदलने की आवश्यकता ही नहीं पड़ी… एवं प्रक्रिया स्थिर ही रही।
जानने योग्य बातें:
इस उपकरण की स्थापना हेतु उपकरण के यांत्रिक एवं विद्युत घटकों को ध्यान में रखना आवश्यक है… वोल्टेज, कनेक्टर प्रकार, एवं शीतलन प्रणाली (फोर्स्ड एयर/वॉटर) आदि।
लैंप का आउटपुट “लाइन-ऑफ-साइट” ही होता है… इसलिए चक्स एवं फिक्सचरों से छायाएँ बन सकती हैं… जिससे कुछ हिस्सों में ठंडक हो सकती है… इसलिए संरेखण एवं बीम-आकार निर्धारण भी आवश्यक है।
आउटपुट को स्थिर करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… ताकि सब्सट्रेट पर तापमान समान रहे… एक बार ऐसा हो जाने के बाद, प्रक्रिया स्थिर ही रहती है।