लिथोग्राफी फ्लोर पर
सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक केवल तापमान के कदम नहीं हैं—ये अच्छे पैटर्न निष्ठा और एक ऐसे वेफर के बीच का अंतर हैं जो स्क्रैप में समाप्त हो जाता है। वेफर पर कुछ डिग्री का परिवर्तन लाइनवाइड वैरिएशन के रूप में प्रकट होता है। और अगर बेक स्टेप में कण बढ़ते हैं, तो आप ट्रैक को प्रदूषित कर रहे हैं। हमने आईसी के लिए कॉम्पैक्ट इन्फ्रारेड ड्रायर बनाया है ताकि इन परिवर्तनों को हटाया जा सके।
जो चीज़ें अंदर मायने रखती हैं यह एक रिफ्लेक्टर-ऑप्टिमाइज़्ड चेंबर के अंदर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड इमिटर्स का उपयोग करता है ताकि ऊर्जा को सीधे फोटोरेसिस्ट में भेजा जा सके, कैरियर में नहीं। 300 मिमी वेफर के पार, थर्मल यूनिफॉर्मिटी ±0.1°C पर बनी रहती है, और साइकिल-से-साइकिल पुनरावृत्ति ±0.2°C के भीतर रहती है। रैंप दरें 10°C/s तक होती हैं, इसलिए आप बेक समय को संकुचित करते हैं बिना स्टैक को नुकसान पहुँचाए।
यह क्लास 1–100 क्लीनरूम में बैठने के लिए इंजीनियर किया गया है: क्वार्ट्ज और एनोडाइज्ड एल्युमीनियम पथ, कम आउटगैसिंग सामग्री, और एक लैमिनर फ्लो प्रोफाइल जो कणों की संख्या को स्थिर रखता है। शून्य कण उत्पादन कोई नारा नहीं है—यह एक डिजाइन प्रतिबंध है, और हम इसे इन-सीटू मॉनिटरिंग से सत्यापित करते हैं।
यह आईसी लाइन पर क्यों काम करता है स्पेस तंग है और प्रक्रिया विंडो संकीर्ण है। यह ड्रायर फोटोरेसिस्ट बेकिंग को निश्चित बनाता है, इसलिए सीडी नियंत्रण कड़ा होता है और पुनः कार्य में कमी आती है। इसका फूटप्रिंट इतना छोटा है कि यह ट्रैक के ठीक बगल में बैठ सकता है बिना अधिक पुनः कार्य के, और यह तेजी से स्थिर होता है, लॉट्स के बीच निष्क्रिय समय को कम करता है।
क्योंकि इमिटर लोड पर सीधे हिट करता है और थर्मल मास कम है, ऊर्जा उपयोग कम होता है। विश्वसनीयता अपटाइम पर निर्भर करती है: 24/7 के लिए रेटेड घटक, और एक थर्मल आर्किटेक्चर जो बैक-टू-बैक रन को बिना ओवर्शूट के संभालता है।
जिन चीज़ों की आपको सच में योजना बनानी चाहिए कॉम्पैक्ट का मतलब प्लग-एंड-प्ले नहीं है। आपको अभी भी समर्पित निकास, प्लस साफ, सूखी हवा की आवश्यकता है। स्थापना सहिष्णुताएँ तंग हैं—वेफर हैंडऑफ के लिए संरेखण को सत्यापित करें और सुनिश्चित करें कि रोबोट को आवश्यक क्लियरेंस मिले।
यह मानक ट्रैक इंटरफेस के साथ साफ-सुथरे ढंग से एकीकृत होता है, लेकिन अपने रेजिस्ट स्टैक के लिए बेक प्रोफाइल को लॉक करने के लिए साइट-विशिष्ट योग्यता चलाएँ। इसी तरह से आप उत्पादन में संख्याओं को स्थिर करते हैं।