क्लास 100 क्लीनरूम को वास्तव में साफ रखना
जब आप क्लास 100 क्लीनरूम का संचालन कर रहे होते हैं, तो थोड़ी सी भी धूल भी बड़ी समस्या बन सकती है। सेमीकंडक्टर उद्योग में, वास्तविक दुश्मन तो गैसों एवं ऐसी सामग्रियाँ हैं जो धीरे-धीरे नष्ट हो जाती हैं। इसे रोकने हेतु, हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों एवं टेफलॉन-आवरित वायरों का उपयोग करते हैं।
उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग
हम लैंपों के लिए सिंथेटिक फ्यूज्ड क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। सामान्य काँच गर्मी को सहन नहीं कर पाता; ऐसे में इससे आयन निकलने लगते हैं, या सूक्ष्म कण निकलने लगते हैं। यह आपके वेफरों के लिए बहुत ही खतरनाक है।
ये लैंप छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं। इससे वातावरण में मौजूद हवा गर्म नहीं होती, बल्कि ऊर्जा सीधे सब्सट्रेट में जाती है। इससे धूल उड़ने की समस्या दूर हो जाती है।
टेफलॉन का उपयोग
सामान्य PVC या सिलिकॉन वायर गर्मी को सहन नहीं कर पाते। गर्म होने पर ये वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड उत्सर्जित करते हैं। ऐसे में धूल सिलिकॉन पर जम जाती है, और आपका पूरा उत्पाद बर्बाद हो जाता है।
इसीलिए हम PTFE (टेफलॉन) आवरित वायरों का ही उपयोग करते हैं। ये गर्मी को आसानी से सहन कर पाते हैं… बिना किसी समस्या के।
इंजीनियरों के लिए कुछ सलाह
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज बहुत ही भंगुर होता है। यह थर्मल शॉक को सहन कर सकता है, लेकिन यदि इसे इंस्टॉलेशन के दौरान चोट पहुँचे, तो यह टूट जाएगा। इसलिए अपने माउंटिंग ब्रैकेटों में थोड़ी ढील रखें, ताकि कोई तनाव न पैदा हो।
साथ ही, अपने वायरों पर भी ध्यान दें। टेफलॉन, सिलिकॉन की तरह आसानी से मुड़ता नहीं है। यदि इसे मोड़ दिया जाए, तो इसकी इंसुलेशन क्षमता प्रभावित हो जाएगी। इसलिए इसे थोड़ा ढीला ही रखें।
सब कुछ मिलाकर
जब क्वार्ट्ज को PTFE के साथ उपयोग में लाया जाता है, तो ऐसी हीटिंग प्रणाली तैयार होती है… जिसमें कोई लीकेज नहीं होता। इससे आपको तेज़ गति से सुखाने हेतु आवश्यक ऊष्मा मिल जाती है… और आपको हवा में मौजूद कणों से कोई समस्या नहीं होती।