אינפראאדום מול העברת חום באמצעות זרימת אוויר: בדיקה של המציאות בתהליכי עיבוד בוואקום
אם ניסיתם אי פעם לעבור משימוש באוויר חם לשימוש בחיממים באמצעות קרינת אינפראאדום המתאימים לשימוש בוואקום, אתם יודעים שזה משנה לחלוטין את הדרך בה אנו מתמודדים עם ניהול החום.
העניין הוא שהעברת חום באמצעות זרימת אוויר דורשת מדיום שיעביר את החום. אך בוואקום? אין שום מדיום כזה. אי אפשר פשוט “לנשוף” חום על הוופר, כשאין אוויר שיעביר אותו. זה בדיוק המקום בו נכנסים לתמונה החיממים באמצעות קרינת אינפראאדום. הם משתמשים בקרינה אלקטרומגנטית כדי לחמם את הוופר ישירות, ללא צורך במדיום ביניים.
הזמן תמיד עובר…
מערכות של אוויר חם הן איטיות. יש להן אינרציה תרמית גדולה, מה שמחייב אותנו לחכות מספר דקות – לפעמים שעות – עד שהחדר יגיע למצב יציב. זה מעכב את התהליך.
חיממים באמצעות קרינת אינפראאדום שונים. הם פועלים כמעט מיד. ראינו שזמן ההתחממות יכול לרדת מדקות לשניות בלבד. כשמנסים להגדיל את קצב העיבוד, הדרך היחידה למנוע לכידה של התהליך היא לחמם את הפני השטח של הוופר במהירות, מבלי לחמם את כל החדר.
לעשות זאת נכון בחדר נקי
כמובן, אי אפשר פשוט להכניס שם כל מנורה. מנורות אינפראאדום המתאימות לשימוש בוואקום משתמשות בקוורץ ובסיבים מיוחדים, מכיוון שהפרשת גזים היא בעיה גדולה. כל דליפה קטנה של חומרים לא רצויים יכולה להרוס את סביבת החדר הנקי. אנו משתמשים בחומרים בעלי טוהר גבוה כדי לשמור על ואקום טוב. היתרון הגדול הוא שניתן לקבל הרבה כוח בשטח קטן. ניתן לחמם אזורים ספציפיים על הוופר, כך שלא יהיו קצוות שרופים, בעוד שהמרכז עדיין קר.
החיסרון
עם זאת, קרינת אינפראאדום אינה פתרון קסם. מכיוון שהחום מגיע במהירות, ייתכן שהחומר ייפגע אם נעשה שימוש יתר בחום. יש לוודא שמערכות השליטה שלנו מסוגלות לעמוד בקצב. אם החיישנים שלנו איטיים, עלולים להיווצר עודפי חום, וזה עלול להרוס את כל המוצרים. זו בעיה גדולה.
בנוסף, אל תשכחו את מערכת הקירור. מערכת הקירור חייבת להיות חזקה מספיק כדי לפלוט את החום במהירות לאחר סיום התהליך. אחרת, כל השניות שחסכנו בזמן החימום יאבדו בזמן הקירור.