על הקו, יש וופר בגודל 200 ממ שמחכה לרגע שבו ניתן יהיה למרוח עליו חומר פוטורזיסט. תהליך החימום אינו אופציונלי – הוא חלק בלתי נפרד מהתהליך. שינוי של חלק קטן ממעלה בטמפרטורה עלול לגרום לשינוי במידות הקריטיות של הוופר. התהליך יהיה כשלון. אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום כדי למנוע את האובדן הזה.
מבחינה טכנית, חשוב להשתמש בנורות אינפרא-אדום בעלות גלים קצרים, כדי לאפשר חימום מהיר וישיר. הספקטרום של האור חודר בצורה יעילה לתוך הסיליקון והשכבות הדקות. המערכת שומרת על אחידות טמפרטורית של ±0.1°C בכל אזור העיבוד, והחזריות של התהליך נשמרת בטווח של ±0.2°C בין סיבובים שונים.
זמן התגובה של המערכת הוא פחות מ-50 מילי-שניות, כך שניתן לשמור על רמת החום הרצויה במהלך כל שלבי העיבוד. העיצוב של המערכת מאפשר פעולה ברמת ניקיון גבוהה – רמה 1–100, ללא ייצור של חלקיקים, וגוף הנורה עשוי מחומרים בעלי טוהר גבוה כדי למנוע פליטת גזים.
למה זה עובד בדיוק במקומות הנדרשים? בתהליך הליתוגרפיה, יש צורך בחימום חוזר כדי לשמור על עובי החומר הפוטורזיסט ולמנוע גלים סטטיים. בתהליך האריזה, יש צורך בחימום שיחבר את החומרים ביניהם מבלי לחמם יתר על המידה את החומרים שנמצאים מתחתיהם. בתהליכי ניקוי וייבוש, יש צורך בחום מבוקר כדי להסיר חומרים ממסים מבלי לגרום לבעיות.
נורות אלו מאפשרות שליטה מדויקת, והן עושות זאת בשימוש בפחות אנרגיה מאשר תנורים רגילים. הירידה המהירה בטמפרטורה גם היא עוזרת לקצר את זמן העיבוד. ראינו שהמערכות האלו יכולות לפעול למשך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועים – מה שאומר פחות צורך בהחלפת הנורות ותהליך יציב.
כדאי לדעת מראש: ההתקנה כוללת התאמה של המאפיינים המכניים והחשמליים של המערכת. יש לבדוק את המתח הנדרש, סוג החיבור ושיטת הקירור – אוויר או מים – לפני ההזמנה.
קרינת הנורה פועלת בקו ראייה, כך שהחלקים השונים של המערכת עלולים ליצור צללים ונקודות קרות. היישור ועיצוב הקרן הם חלק מההגדרות הראשוניות של המערכת, ולא דבר שניתן לעשות לאחר מכן.
יש לצפות לתקופת התמתנות קצרה כדי לייצב את הביצועים ולוודא שהטמפרטורה אחידה על כל שכבות החומר. לאחר מכן, התהליך יהיה יציב.