בקו של 300 ממ, שינוי של 2 מעלות צלזיוס בתהליך החימום אינו משפיע רק על רוחב הקו – הוא גם גורם לבזבוז של שבבים רבים. לכן יצרנו נורות חימום מסוג קוורץ-הלוגן, שמאפשרות שליטה בטמפרטורה בתוך טווח מסוים, גם כשהמפעל פועל במלוא ההספק.
מה חשוב באמת? הגוף הפולט את החום הוא גוף הלוגן באורך גל קצר, הנמצא בתוך מעטפת קוורץ באיכות גבוהה. הוא פולט חום מהיר, עם אינרציה תרמית נמוכה. בכך, האחידות של הטמפרטורה על פני השבב נשארת בטווח של ±0.1 מעלות צלזיוס, כך שהחומרים המשמשים בתהליך ההדפסה יקבלו טמפרטורה עקבית, ללא אזורים חמים. פרופיל הנורה מאפשר שליטה טובה בטמפרטורה, בגם בתהליכי חימום רגילים וגם בתהליכי חימום אינטנסיביים. הפלט של הנורה יציב מספיק כדי שהממדים החשובים יישמרו בטווח המותר, גם בתהליכים ארוכים. התאמה לחדרי ניקיון מסוג 1–100 נובעת מהשימוש בחומרים עם רמת פליטת גזים נמוכה, ומהעובדה שהנורה אינה יוצרת חלקיקים בעת חימום.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה? בליתוגרפיה, האחידות של הטמפרטורה קובעת את היעילות של התהליך. עם נורה זו, ניתן לשלוט ברוחב הקו בצורה עקבית, להפחית את מספר השבבים הפגומים, ולהימנע משינויים בטמפרטורה שצריך לתקן בשלב החימום. התגובה התרמית המהירה מקצרת את זמן התהליך, ללא חריגות. הפלט היציב של הנורה מונע פסולת בתהליך. הנורות יכולות לפעול במשך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בפלט של פחות מ-5%, מה שמביא לפחות תיקונים ופחות זמן עצירה בלתי צפוי. צריכת האנרגיה נמוכה, מכיוון שהחום מותאם לשטח השבב, ולא למסה של החדר.
הערות שיהיו שימושיות לכם: הנורה אינה סובלת אזורים חמים – לכן יש להתקין אותה בהתאם להוראות היצרן, ולוודא שהאוורור תקין. יש לבדוק את גאומטריית המחזיר ואת רמת הטמפרטורה של הנורה – אחרת עלולה להיות חוסר אחידות בחימום. הנורה תואמת לציוד OEM סטנדרטי, אך יש לוודא את ההתאמה במהלך התחזוקה המונעת, כדי למנוע בעיות בחיבורים ולשמור על רמת הניקיון הנדרשת.