שמירה על חדר נקי מסוג Class 100 נקי אמתי
כשמנהלים חדר נקי מסוג Class 100, אפילו כמות קטנה של אבק יכולה לגרום לאסון. בעולם השבבים, האויבים האמיתיים הם גזים שנפלטים מהחומרים וחומרים שמתפרקים עם הזמן. כדי למנוע זאת, אנו משתמשים בשילוב פשוט: נורות אינפרא-אדום מקוורץ בעל טוהר גבוה, יחד עם חוטים מבודדים ב-Teflon.
היתרונות של קוורץ בעל טוהר גבוה
אנו משתמשים בקוורץ סינתטי ליצירת המעטפות של הנורות. רוב הזכוכית אינה יכולה לעמוד בחום – היא מתחילה לשחרר יונים או חלקיקים זעירים. זה יכול לפגוע קשות בשבבים שלנו.
נורות אלו משתמשות בקרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים. במקום לחמם את כל האוויר סביבן, האנרגיה נכנסת ישירות לחומר שעליו הן פועלות. זה מאוד חשוב, כיוון שזה מונע את תנועת האוויר שעלולה להעלות אבק למקום העבודה.
למה אנו מעדיפים Teflon
חוטים רגילים מ-PVC או סיליקון לא עמידים בחום. כשהם נחממים, הם משחררים חומרים אורגניים רעילים. חומרים אלו יכולים לפגוע בשבבים שלנו. לכן אנו משתמשים בחוטים מצופים ב-PTFE (Teflon). הם עמידים בחום, ללא עשן וללא חלקיקים.
כמה הערות למהנדסים
יש להיות זהירים: קוורץ בעל טוהר גבוה הוא שביר. הוא עמיד בפני שינויי טמפרטורה קיצוניים, אך אם נגרם לו נזק במהלך ההתקנה, הוא עלול להישבר. יש לוודא שהמשקופים שעליהם הוא מותקן יהיו גמישים, כדי שלא ייווצרו נקודות לחץ.
כמו כן, יש להיות ערניים לחוטים. חוטי Teflon אינם ניתנים לכיפוף בקלות כמו חוטי סיליקון. אם הם נכווים, עלול להיפגע הבידוד שלהם. עדיף להשאיר אותם קצת רפויים.
סיכום
כשמשלבים קוורץ עם PTFE, מתקבל מערכת חימום שאינה גורמת לדליפות. ניתן לקבל את רמת החום הדרושה לתהליכי ייבוש או חימום מהירים, אך אין צורך להילחם בחלקיקי אבק באוויר. זה פשוט עובד.