Verhindern von Kurzschlüssen: Wasserdichte Infrarotlampen für die Reinigungsprozesse
Wenn Sie schon einmal Zeit in einer Reinigungsstelle verbracht haben, kennen Sie das Problem. Man muss ständig gegen diese Herausforderungen kämpfen: Die Wafer müssen schnell wieder auf Temperatur gebracht werden – doch die Heizelemente befinden sich mitten in einer Mischung aus Feuchtigkeit und chemischen Dämpfen. Das ist ein Rezept für Katastrophen. Meistens führt das zu Kurzschlüssen oder zu defekten Quarzkörpern.
Deshalb bauen wir unsere Infrarotlampen so, dass sie tatsächlich wasserdicht sind. Kein nervöses Warten mehr jedes Mal, wenn der Reinigungsprozess beginnt.
Warum Kurzwellen-Infrarot?
Herkömmliche Konvektionsöfen sind langsam. Sie verschwenden Zeit damit, die Luft vor dem Erwärmen der Wafer aufzuheizen. Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot, denn dadurch entfällt dieser Umweg. Die Energie gelangt direkt von der Lampe zum Substrat. Das ist schnell – wirklich sehr schnell.
Außerdem können diese Lampen direkt mit dem Heizkontroller verbunden werden. So kann man genau sehen, wie viel Wärme tatsächlich auf die Wafer trifft. Wenn man einen datengesteuerten Prozess betreiben möchte, ist das die einzige Möglichkeit, genau zu wissen, was vor sich geht.
Das schwierige Problem: Die Integration in feuchte Umgebungen
Die meisten Infrarotlampen versagen in solchen Umgebungen, weil die Dichtungen undichte Stellen haben. Wir lösen dieses Problem mit speziellen, wasserdichten Gehäusen sowie hochwertigen Dichtungen an den Stellen, an denen die Kabel mit der Lampe verbunden sind.
Aber es gibt ein Problem: Man kann die Lampen nicht einfach nur fest verschließen. Quarz dehnt sich bei Hitze aus. Wenn das Gehäuse zu steif ist, wird der Quarzkörper zerbrechen. Es handelt sich dabei um ein delicates Gleichgewicht zwischen „Wasserdichtigkeit“ und „Raum für Ausdehnung“.
Ein paar Dinge, die man berücksichtigen sollte
Wenn man hochdichte Infrarotarrays verwendet, wird die Aufheizzeit unglaublich kurz sein. Doch Vorsicht: So viel Wärme in einem kleinen Raum erzeugt großen Druck auf die Stromversorgung.
Wenn man viele 2 kW starke Lampen in einem Modul unterbringt, darf man die Kühlventilatoren und Wärmeableiter nicht vergessen. Andernfalls werden die Elektronikkomponenten neben den Lampen beschädigt.
Die gute Nachricht: Diese Systeme lassen sich einfach über die Standardprotokolle in den PLC einbinden. Es handelt sich dabei um einen einfachen Ersatz für die alten, langsamen Heizgeräte, die mit hohen Durchsatzraten nicht mithalten können. Man muss nicht mehr raten – man kann direkt messen.