Den Albtraum beenden: Ihre Wafer vor dem Versagen der Lampen schützen
Wenn Sie mit hoher Geschwindigkeit Wafer herstellen, wissen Sie bereits, dass das Versagen einer Lampe mehr ist als nur ein Ärgernis – es handelt sich dabei um eine Katastrophe. Wenn eine Quarztube platzt, fallen plötzlich Glasscherben und andere Partikel auf die Substrate. In diesem Fall ist eine ganze Charge nutzlos. Das ist wirklich ein schockierender Moment. Genau deshalb konstruieren wir unsere IR-Lampen für Reinräume unter Berücksichtigung des „schlimmsten Falls“.
Den Schmutz im Inneren behalten
Wir verlassen uns nicht allein auf eine einzige GlasSchicht. Wir verwenden eine Doppelschichtstruktur. Der Heizelement befindet sich in hochreinem, gefügtem Quarz. Darüber befindet sich außerdem eine bruchfeste Hülle oder eine spezielle Beschichtung. Man kann das wie eine Versicherung betrachten: Falls der innere Faden versagt oder die Tube durch thermische Belastung zerbricht, bleiben die Scherben im Inneren der Lampe. Kein Glasschmutz landet auf den Wafern – keine Panik.
Mit der Hitze umgehen
Die meisten Lampen versagen, weil die Wärme nicht gleichmäßig verteilt wird. Dadurch entstehen „heiße Stellen“, die den Quarz schnell abnutzen. Um dieses Problem zu lösen, haben wir die Elektroden sowie die Abdichtungen so angepasst, dass sie schnelle Zyklen ohne Schädigung des Materials bewältigen können. Außerdem achten wir darauf, das Verhältnis zwischen Leistung und Länge richtig einzustellen. Es handelt sich dabei um eine einfache Anpassung, doch dadurch bleibt die Lampe stabil und es kommt zu keinem vorzeitigen Versagen.
Der Kompromiss (seien wir ehrlich)
Es gibt jedoch einen Nachteil: Die Schutzhüllen blockieren etwas vom Infrarotlicht. Sie werden wahrscheinlich eine Abnahme der Leistung von 5–10 Prozent im Vergleich zu einer Lampe ohne solche Schutzhüllen feststellen. Das ist zwar ein kleiner Preis für mehr Sicherheit, doch Sie müssen die Leistungsparameter oder die Einbrennzeit etwas erhöhen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen.
Richtige Installation
Zuletzt noch zur Verkabelung: Wir verwenden standardisierte Anschlüsse – denn lose Verbindungen führen zu Problemen. Lose Verbindungen erzeugen Funken, die die Temperatur an den Enden der Lampe erhöhen und dazu führen, dass der Quarz zerbricht. Stellen Sie sicher, dass alles ordentlich verbunden ist und die Spannung konstant bleibt. Dann werden Ihre Lampen ihre volle Lebensdauer erreichen, ohne dass Ihre Erträge beeinträchtigt werden.