Hören Sie auf, Energie in Ihren Halbzeugwerkzeugen zu verschwenden!
Die meisten Heizelemente sind ziemlich ungenau in ihrer Funktionsweise – sie geben die Energie in alle Richtungen ab. In einer Halbleiterfabrik ist das ein echtes Problem.
Stellen Sie sich vor: Man versucht, eine Wafer zu erhitzen – doch dabei wird auch der Innenraum der Maschine überhitzt. Das ist eine Verschwendung von Energie und stellt außerdem eine Sicherheitsgefahr für die Arbeiter dar. Wir lösen dieses Problem mit Richtungsheizung mittels Infrarotstrahlen.
Wie es funktioniert
Anstelle davon, dass die Wärme in den Inneren der Maschine gelangt, nutzen Richtungs-IR-Lampen Reflektoren sowie Wellenlängenanpassungen, um die Energie genau dorthin zu lenken, wo sie benötigt wird. Dadurch entsteht ein fokussierter Wärmestrahl. Dadurch werden die Wände der Werkzeuge nicht zu „heißen Zonen“, die einen Techniker bei Reparaturarbeiten verletzen könnten oder das Werkzeuggehäuse durch thermische Ausdehnung beschädigen könnten. Die Wärme bleibt einfach dort, wo sie hingehört.
Was Sie beachten müssen
Sie können die Lampen entsprechend der benötigten Wärmenmenge auswählen. Wir verwenden meist Kurzwellenquartstubes – sie erreichen schnell die gewünschte Temperatur. Sie funktionieren mit Standardindustrievoltständen, sodass sie problemlos in Ihr bestehendes Stromnetz integriert werden können. Wenn Sie hocheffiziente Lampen für schnelle Bearbeitung benötigen, stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlventilatoren stark genug sind, um die Wärme am Lampenkopf zu bewältigen.
Was das für die Produktionsstätte bedeutet
Der größte Vorteil: Die Wände der Werkzeuge bleiben kühl beim Berühren. Sie müssen nicht mehr gegen die ständige Überhitzung ankämpfen. Das ist eine große Erleichterung für Ihr Team – außerdem werden die empfindlichen Elektronikkomponenten vor Überhitzung geschützt.
Der Umstieg ist in der Regel einfach – man tauscht einfach die herkömmlichen Heizer gegen diese neuen aus. So haben Sie besseren Kontrolle über die Temperatur der Wafer und somit eine sicherere Arbeitsumgebung für die Mitarbeiter.
Achtung: Da die Strahlen sehr gezielt sind, müssen Sie bei der Installation etwas genauer sein. Wenn Sie etwas falsch machen, entstehen kalte Stellen auf dem Substrat.