V továrně na výrobu kvantových čipů nezáleží na náhodě – výsledná kvalita čipů závisí na správné kontrole teploty. I několik stupňů odchylek během procesu zahřívání fotoresistu může zničit celý čip – to znamená ztrátu struktur potřebných pro správné fungování kvantových bitů a plýtvání týdny práce při integraci čipu. Vytvořili jsme speciální ohřívač určený k výrobě kvantových počítačových čipů, který eliminuje tyto odchylky.
Co je opravdu důležité Používáme krátkovlnné infračervené záření prostřednictvím křemenného okna, spolu s ohřívacími prvky vyrobenými z uhlíkových vláken. Díky tomu je zahřívání rychlé a efektivní. V aktivní oblasti zůstává homogenita teploty na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost mezi jednotlivými cykly je ≤0,05 °C. V prostorách s klasifikací 1–100 udržuje tento ohřívač nízkou hladinu emisí plynů a během termálních cyklů nevytváří žádné částice. Získáte tak spolehlivost 24/7 bez jakýchkoliv neočekávaných přerušení provozu, s dokumentovanou životností přesahující 50 000 hodin.
Proč tento ohřívač vhodně odpovídá procesu výroby kvantových čipů Tento ohřívač je navržen tak, aby vyhovoval jednotlivým krokům výroby kvantových čipů: litografii, mírnému a intenzivnímu zahřívání, stejně jako dalším parametrům, které nelze ignorovat. Teplota se rychle ustálí, takže se snižuje doba nečinnosti a profil fotoresistu zůstává stabilní. Výsledkem je lepší kontrola rozměrů čipů, méně nutnosti oprav a možnost plánování času potřebného na výrobu čipu. Spotřeba energie také klesá – rychlá reakce ohřívače znamená kratší dobu zahřívání, takže spotřebujete méně kWh na jeden čip.
Co je potřeba zajistit před instalací Instalace vyžaduje speciální napájení 24 VDC a dobré tepelné izolování od sousedních modulů. Bez toho začne stabilita teploty klesat. Ohřívač podporuje standard SECS/GEM, ale integrace funguje pouze tehdy, pokud předem nastavíte spojení mezi zařízením a strojem. Rovněž je potřeba předem promyslet velikost zařízení – proudění vzduchu a volné prostory přímo ovlivňují homogenitu teploty.
Navrhujeme toto řešení tak, aby vyhovovalo konkrétnímu výrobnímu procesu. Můžete tedy pracovat bez obav o kvalitu zařízení.