কোয়ান্টাম চিপ তৈরির প্রক্রিয়ায় সাফল্য কোনো ভাগ্যের ব্যাপার নয়। এর জন্য থার্মাল নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য। ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় কয়েক ডিগ্রির তাপমাত্রা পরিবর্তনই ওয়েফারটিকে ধ্বংস করে দিতে পারে; ফলে কোয়ান্টাম চিপ তৈরির প্রক্রিয়ায় অনেক সময় নষ্ট হয়। আমরা এই সমস্যা দূর করার জন্য কোয়ান্টাম কম্পিউটিং চিপ তৈরির জন্য বিশেষ হিটার তৈরি করেছি।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ উইন্ডোর মাধ্যমে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মি ব্যবহার করি; এছাড়া কার্বন-ফাইবার-রিইনফোর্স্ড হিটার ব্যবহার করে তাপ দ্রুত ও নির্ভুলভাবে সরবরাহ করা হয়। ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে; আর রান-টু-রান রিপিটেবিলিটি ≤0.05°C। ক্লাস 1–100 ক্লাসের ক্লিনরুমে এই হিটারটি কম গ্যাস নির্গমন করে এবং থার্মাল সাইকেলিংয়ের সময় কোনো কণা উৎপন্ন করে না। এর ফলে ২৪/৭ সময় ধরে নির্ভরযোগ্যতা বজায় থাকে; আর MTBF ৫০,০০০ ঘন্টারও বেশি।
কেন এটি কোয়ান্টাম প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
এই হিটারটি কোয়ান্টাম চিপ তৈরির প্রক্রিয়ার জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা হয়েছে—লিথোগ্রাফি, সফ্ট বেক, হার্ড বেক ইত্যাদি প্রক্রিয়াগুলোর জন্য। তাপমাত্রা দ্রুত স্থিতিশীল হয়; ফলে অপ্রয়োজনীয় সময় কমে যায় এবং ফটোরেসিস্টের প্রোফাইলও স্থিতিশীল থাকে। এর ফলে CD নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়, রিওয়ার্কিংয়ের পরিমাণ কমে যায়, আর প্রক্রিয়ার সময়ও কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়—দ্রুত তাপ সরবরাহের ফলে প্রতি ওয়েফারে কম kWh ব্যবহৃত হয়।
ইনস্টলেশনের আগে কী পরিকল্পনা করা দরকার?
ইনস্টলেশনের জন্য বিশেষ ২৪VDC সাপ্লাই এবং পাশের মডিউলগুলো থেকে থার্মাল আইসোলেশন অপরিহার্য। এটা না করলে সেটপয়েন্টের স্থিতিশীলতা নষ্ট হয়ে যায়। হিটারটি SECS/GEM ফাংশনগুলোকে সমর্থন করে; কিন্তু ইন্টিগ্রেশন করতে হলে মেশিন ও ইকুইপমেন্টগুলোকে আগে থেকেই সঠিকভাবে সাজানো প্রয়োজন। আর এয়ারফ্লো ও ক্লিয়ারেন্স নিয়েও আগে থেকেই পরিকল্পনা করা দরকার—কারণ এগুলো ওয়েফারের স্থিতিশীলতাকে প্রভাবিত করে।
আমরা প্রক্রিয়ার জন্যই ডিজাইন করি। ফলে আপনি কোনো সন্দেহ ছাড়াই এটি ব্যবহার করতে পারেন।