প্যাকেজিং-এর ঠিক আগে, পরিষ্কার করার পরও যে আর্দ্রতা অবশিষ্ট থাকে, সেটা সেখানেই থাকে না—বরং সেটা এনক্যাপসুলেন্টের ভিতরে চলে যেতে পারে। এর ফলে CTE-এ পরিবর্তন ঘটে, এবং পরবর্তীতে ডিল্যামিনেশনের সমস্যা দেখা দেয়। আর যদি আপনি এখনও ঐতিহ্যবাহী হটপ্লেট ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি জানেনই যে এর ফলে কী সমস্যা হয়—এজ বিডস সমস্যা থেকে মুক্তি পাওয়া কঠিন, আর কণা উৎপন্ন হওয়াটাও একটি বড় সমস্যা। আপনার দরকার হলো পরিষ্কার, পুনরাবৃত্তিযোগ্য, এবং উচ্চ তাপমাত্রায় কাজ করতে সক্ষম ড্রাইং ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়া।
প্রকৃতপক্ষে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ এমিটারসহ শর্ট-ওয়েভ NIR ব্যবহার করি; এটা জল ও সলভেন্টগুলো শোষণ করার জন্য উপযুক্ত। এর ফলে সাব-সারফেস দ্রুত উত্তপ্ত হয়, কিন্তু অর্গানিক পদার্থগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। অ্যাক্টিভ সারফেসে ওয়েফারের সমতা ±0.1°C-এ থাকে, আর সেটপয়েন্ট নিয়ন্ত্রণ করা হয় ±0.5°C/সেকেন্ডের মধ্যে। এই প্ল্যাটফর্মটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমগুলোর জন্য উপযুক্ত; আর 0.35 μm/মিনিট গতিতে 0.1 μm-এর নিচে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো পুনরাবৃত্তিযোগ্য হয়, ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ করা সহজ হয়।
প্রি-প্যাকেজিং-এ এটি কেন কার্যকর?
প্রি-প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায় কাজটি খুবই সরল—ওয়েফার শুকানো, তারপর ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়া। NIR ব্যবহার করলে তাপ ব্যবহার কমে যায়, বেকিং সময় কমে যায়, আর শক্তি খরচও কমে যায়। ফলে প্রক্রিয়াটি দ্রুত সম্পন্ন হয়, আর্দ্রতা কমে যায়, এবং এজ বিডস বা অবশিষ্ট সলভেন্টের কারণে কোনো সমস্যা দেখা দেয় না। যেহেতু একই প্ল্যাটফর্মটি ড্রাইং ও বেকিং উভয় প্রক্রিয়ার জন্যই ব্যবহৃত হয়, তাই ভ্যালিডেশন প্রক্রিয়াটি সহজ হয়ে যায়, আর স্পেয়ার পার্টসের পরিমাণও কমে যায়।
কী কী সমস্যা দেখা দেয়?
NIR হলো লাইন-অব-সাইট প্রযুক্তি; তাই সমতা বজায় রাখার জন্য প্রতিফলনশীল ফিক্সচার ও সঠিক ওয়েফার অরিয়েন্টেশন প্রয়োজন। এমিটারের দূরত্ব ও পাওয়ার ডেনসিটি ওয়েফারের আকার ও ফিল্ম স্ট্যাকের সাথে মিলে থাকতে হয়; তাই আমরা একসাথে রেসিপি তৈরি করি। র্যাম্প রেট ও ডিউল টাইম নির্ধারণ করার জন্য সংক্ষিপ্ত ট্রায়াল প্রয়োজন। একবার এটা ঠিক হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি ন্যূনতম ত্রুটির সাথে চলতে থাকে।