ফ্যাব ফ্লোরে, যদি বেকিং প্রক্রিয়ায় সামান্যতম ত্রুটি ঘটে, তাহলে আর কোনো সুযোগ থাকে না। ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়ায় সামান্যতম তাপমাত্রা-পরিবর্তনও একটি মাইক্রো LED ইপি-ওয়েফারকে ধ্বংস করে দিতে পারে। তাই প্রতিবার বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের উপরিভাগের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকা অপরিহার্য।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল কন্ট্রোল সিস্টেম ব্যবহার করি; ফলে প্রতিবার বেকিং প্রক্রিয়ার সময় তাপমাত্রা একই থাকে। ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকা উচিত; আর হট জোনটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 মানদণ্ড অনুযায়ী তৈরি করা হয়েছে—যাতে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হয়।
মাইক্রো LED-এর জন্য এটা কেন কার্যকর?
মাইক্রো LED প্রক্রিয়ায় লিথোগ্রাফি ও শুকানোর প্রক্রিয়াগুলো খুবই সংকীর্ণ নিয়মাবলীর মধ্যে সম্পন্ন হয়। সলভেন্ট সম্পূর্ণরূপে অপসারণ করতে হয়; কিন্তু ফটোরেজিস্টটির আকৃতি অপরিবর্তিত থাকতে হয়। আমাদের হিটারগুলো বেকিং প্রক্রিয়াকে স্থিতিশীল রাখে; ফলে পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন হয় না। এর ফলে উৎপাদন কার্যক্ষমতা বাড়ে, ত্রুটি কমে যায়, আর অপচয়ও কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও নিয়ন্ত্রণে থাকে; ফলে অপারেটিং খরচ কমে যায়।
যদি এগুলো উপেক্ষা করা হয়…
এই হিটারগুলো স্ট্যান্ডার্ড যান্ত্রিক ও বৈদ্যুতিক ইন্টারফেস ব্যবহার করে ব্যবহৃত হয়। কিন্তু অ্যালাইনমেন্ট ও গ্যাস-প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ ঠিক থাকা অপরিহার্য। আপনার রেজিস্ট ও সাবস্ট্রেটের জন্য উপযুক্ত কনফিগারেশন নির্ধারণ করতে হবে। আর যদি উচ্চ আর্দ্রতার পরিবেশে কাজ করা হয়, তাহলে কনডেনসেট নিয়ন্ত্রণ করা অপরিহার্য। আমরা আগে থেকেই পার্জ ও এক্সহস্ট সিস্টেম নির্ধারণ করে রাখি।
যখন উৎপাদন কার্যক্ষমতা তাপমাত্রার উপর নির্ভর করে…
তখন নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য। প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত হিটার ব্যবহার করলেই প্রক্রিয়াটি ঠিকমতো চলবে।