লাইনে রয়েছে ২০০ মিমি আকারের ওয়েফারগুলো; এগুলো ফটোরেজিস্ট প্রয়োগের জন্য অপেক্ষা করছে। বেকিং প্রক্রিয়াটি ঐচ্ছিক নয়—এটা অপরিহার্য। তাপমাত্রায় সামান্যতম পরিবর্তন ঘটলেই ওয়েফারের আকার পরিবর্তিত হয়ে যায়। আমরা ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করে এই সমস্যাটি দূর করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়গুলো: আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (NIR) কোয়ার্টজ হ্যালোজেন এমিটার ব্যবহার করি; এর ফলে দ্রুত ও সরাসরি তাপ প্রদান হয়। এই তরঙ্গসমূহ সিলিকন ও পাতলা ফিল্মগুলোতে সহজেই প্রবেশ করে। এই সিস্টেমটি ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করে; আর প্রতিবার প্রক্রিয়াটি চালানোর সময় তাপমাত্রার পরিবর্তন থাকে ±০.২°C এর মধ্যে।
প্রতিক্রিয়ার সময়কাল ৫০ মিলিসেকেন্ডের কম; তাই সফট বেকিং, হার্ড বেকিং বা কিউরিং প্রক্রিয়ার সময় তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সম্ভব। ক্লিনরুম পরিবেশটিও ডিজাইনের অংশ; ক্লাস ১–১০০ মানের পরিবেশে কোনো ধূলিকণা উৎপন্ন হয় না। ল্যাম্পগুলো উচ্চ-মানের উপাদান দিয়ে তৈরি; এর ফলে গ্যাস নির্গমন কম হয়।
কেন এটা কাজে আসে? লিথোগ্রাফিতে ফটোরেজিস্টের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ করতে ও অপ্রয়োজনীয় তরঙ্গগুলো দূর করতে সফট বেকিং প্রয়োজন। প্যাকেজিংয়ে অন্ডারফিলকে অতিরিক্ত তাপ না দিয়ে কিউর করতে হয়। পরিষ্কার ও শুকানোর প্রক্রিয়ায় নিয়ন্ত্রিত তাপ প্রয়োজন; যাতে সলভেন্টগুলো দূর হয় আর কোনো সমস্যা না হয়।
এই ল্যাম্পগুলো এই নিয়ন্ত্রণ সম্ভব করে দেয়; আর কনভেকশন ওভেনের তুলনায় কম শক্তি ব্যবহার হয়। দ্রুত তাপ নিয়ন্ত্রণ করার ফলে প্রক্রিয়ার সময়ও কমে যায়। আমরা দেখেছি যে ৫,০০০+ ঘণ্টা চালানোর পরও আউটপুটে ৫% এরও কম হ্রাস হয়েছে—অর্থাৎ ল্যাম্প পরিবর্তনের প্রয়োজন কম হয় এবং প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে।
আপনাকে আগে থেকেই জানা উচিত: ইনস্টলেশনের জন্য টুলটির যান্ত্রিক গঠন ও বৈদ্যুতিক ইন্টারফেস মিলিয়ে নেওয়া প্রয়োজন। ভোল্টেজ, কানেক্টরের ধরণ, এবং কুলিং ব্যবস্থা (ফোর্সড এয়ার নাকি ওয়াটার) সম্পর্কে আগে থেকেই জানা উচিত।
ল্যাম্পের আউটপুট সরাসরি দেখা যায়; তাই চাকগুলো ও ফিক্সচারগুলো ছায়া তৈরি করে এবং স্থানীয়ভাবে ঠান্ডা অঞ্চল তৈরি করে। অ্যালাইনমেন্ট ও বিম শেপিং হলো সেটআপের অংশ; পরে নয়।
আউটপুটকে স্থিতিশীল করতে ও সাবস্ট্রেটের আকার নিয়ন্ত্রণ করতে কিছুটা সময় লাগে। একবার সবকিছু ঠিক হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে।