লিথোগ্রাফি ফ্লোরে
মৃদু বেক এবং কঠোর বেক শুধুমাত্র তাপমাত্রার ধাপ নয়—এগুলো ভাল প্যাটার্ন ফিডেলিটি এবং একটি বর্জ্য ওয়েফারের মধ্যে সীমা। কয়েক ডিগ্রি পরিবর্তন ওয়েফারের উপর লাইনের প্রস্থ পরিবর্তন হিসেবে প্রকাশ পায়। এবং যদি বেক ধাপের সময় কণাগুলি উত্থিত হয়, তাহলে আপনি ট্র্যাককে দূষিত করছেন। আমরা IC-এর জন্য একটি কমপ্যাক্ট ইনফ্রারেড ড্রায়ার তৈরি করেছি যাতে এই ভেরিয়েবলগুলোকে টেবিল থেকে সরিয়ে দেওয়া যায়।
নিচের অংশে কি গুরুত্বপূর্ণ এটি একটি রিফ্লেক্টর-অপটিমাইজড চেম্বারের মধ্যে সংক্ষিপ্ত তরঙ্গ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করে যাতে শক্তি সরাসরি ফটোরেজিস্টে প্রবাহিত হয়, ক্যারিয়ারে নয়। 300 মিমি ওয়েফারের মধ্যে, তাপীয় একরূপতা ±0.1°C এ ধরে রাখা হয়, এবং সাইকেল থেকে সাইকেলে পুনরাবৃত্তিমূলকতা ±0.2°C এর মধ্যে স্থির থাকে। র্যাম্প রেট 10°C/s এর উপরে, তাই আপনি বেক সময় সংকুচিত করতে পারেন বিনা চাপের।
এটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে বসানোর জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে: কোয়ার্টজ এবং অ্যানোডাইজড অ্যালুমিনিয়ামের পথ, কম-আউটগ্যাসিং উপকরণ, এবং একটি লামিনার ফ্লো প্রোফাইল যা কণার সংখ্যা সমতল রাখে। শূন্য কণা উৎপাদন একটি স্লোগান নয়—এটি একটি ডিজাইনের সীমাবদ্ধতা, এবং আমরা এটি ইন-সিটু পর্যবেক্ষণের মাধ্যমে যাচাই করি।
কেন এটি IC লাইনে কাজ করে স্থান সংকীর্ণ এবং প্রক্রিয়ার জানালাগুলি সংকীর্ণ। এই ড্রায়ার ফটোরেজিস্ট বেকিংকে নির্ধারিত করে, তাই CD নিয়ন্ত্রণ আরও টাইট হয় এবং পুনরায় কাজের প্রয়োজন কমে যায়। এর ফিটপুট এত ছোট যে এটি ট্র্যাকের পাশে বসতে পারে এবং পুনরায় কাজের প্রয়োজন কম হয়, এবং এটি দ্রুত স্থিতিশীল হয়, লটগুলির মধ্যে অচল সময় কমায়।
যেহেতু এমিটার লোডে সরাসরি আঘাত করে এবং তাপীয় ভর কম, তাই শক্তি ব্যবহারের পরিমাণ কমে যায়। নির্ভরযোগ্যতা আপটাইমের উপর নির্ভর করে: 24/7 এর জন্য রেট করা উপাদান, এবং একটি তাপীয় স্থাপত্য যা ব্যাক-টু-ব্যাক রান পরিচালনা করে অতিরিক্ত তাপ ছাড়াই।
আপনাকে যে বিষয়গুলি পরিকল্পনা করতে হবে কমপ্যাক্ট মানে প্লাগ-অ্যান্ড-প্লে নয়। আপনাকে এখনও নিব dedicatedকৃত নিষ্কাশন, পাশাপাশি পরিষ্কার, শুকনো বাতাস প্রয়োজন। ইনস্টলেশন টলারেন্সগুলি কঠোর—ওয়েফার হ্যান্ডঅফের সাথে সংযোগ নিশ্চিত করুন এবং নিশ্চিত করুন যে রোবটের জন্য প্রয়োজনীয় ক্লিয়ারেন্স রয়েছে।
এটি স্ট্যান্ডার্ড ট্র্যাক ইন্টারফেসের সাথে পরিষ্কারভাবে একত্রিত হয়, কিন্তু আপনার রেজিস্ট স্ট্যাকের জন্য বেক প্রোফাইল লক করতে একটি সাইট-নির্দিষ্ট যোগ্যতা চালান। এভাবেই আপনি উৎপাদনে সংখ্যাগুলোকে স্থায়ী করেন।