超纯度加热灯

Sun, 19 Jul 2026 07:58:41 +0800

为何在深度加工中我们放弃热风方式，转而使用红外灯

如果你仍然依赖热风来加热晶圆，那其实就是在白白浪费时间。
想想看，热风本质上只是对流现象——先加热空气，再让空气去加热晶圆。这个过程非常缓慢，你需要花费大量时间等待热量传递完成。而使用超高纯度红外灯则完全不同：它以光速将电磁辐射直接传递到目标物体上。
速度极快。
当加热和冷却的时间大大缩短后，生产效率自然会大幅提升。即使每个工作周期只需节省30秒，那么整个工作班次下来就能获得可观的收益。这无疑意味着能生产出更多的产品。
不过，不能随便用普通的卤素灯泡来替代它。
在充满腐蚀性气体的真空环境中，普通灯泡根本无法正常工作。我们必须使用高纯度的合成石英材料，因为任何微小的杂质都可能损坏晶圆，从而影响产量。就是这么简单。
不过，真正神奇的还是其功率密度——我们能在极小的空间内集中大量的能量。这样就能立刻达到所需的温度，无需再等待风扇来循环空气。热量可以精准地传递到需要的地方。
当然，这也不是毫无缺点的。有一些需要注意的地方。
红外线具有方向性，它不会像空气那样环绕物体；它需要一个畅通无阻的传播路径。如果灯具的位置不当，晶圆上就会出现冷点。因此，必须精心安排灯具的位置。
另外，还要注意：这些高功率的超高纯度红外灯会变得非常热，尤其是其接线端。如果接线或冷却系统不够完善，就可能导致连接器烧毁。
只要选对合适的硬件，那就没什么问题了。

UHP on Warm IR Heating Hardware

超纯度加热灯

为何在深度加工中我们放弃热风方式，转而使用红外灯