http://warm-ir-heater-ware.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Warm IR Heating Hardware Hugo zh Sun, 26 Jul 2026 10:00:52 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/zh/posts/comparing-infrared-heating-to-hot-air-circulation-for-mems-wafer-drying/ Sun, 26 Jul 2026 10:00:52 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/zh/posts/comparing-infrared-heating-to-hot-air-circulation-for-mems-wafer-drying/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="为什么你应该停止用热风处理mems晶圆">为什么你应该停止用热风处理MEMS晶圆</h1> <p>如果你曾在MEMS生产线上工作过，那你就知道流程是怎样的。完成湿法蚀刻或清洁工序后，接下来就是去除晶圆上的水分。传统的方法就是用热风吹干晶圆。不过，这种方法效率很低，因为它依赖<a href="https://o-yate.net">于对流作用</a>，而当时间紧迫时，这种等待时间实在难以忍受。此外，用空气吹干<a href="https://goldisgood.com">晶圆还会让</a>灰尘之类的颗粒附着在晶圆上。</p>