晶圆固化灯用反射器

Wed, 22 Jul 2026 02:00:58 +0800

为什么镀金反射器对晶圆固化过程如此重要

在晶圆固化过程中，实际上是在管理有限的能量资源。大多数人仍然使用普通的铝制反射器，但这样做有个问题：大量热量会泄漏到机器的机壳中，这无疑是一种能源浪费。

因此，我们选择使用黄金作为反射材料。虽然听起来很奢华，但实际上这是非常实用的选择。黄金能够将近红外光精确地反射回所需的位置——也就是直接照射到晶圆上。这样一来，就可以避免将能量浪费在加热工厂地板上，从而让每一瓦特的能量都能得到有效利用。这样就可以在不大幅增加能耗的情况下达到所需的温度。

反射器的形状也很重要。
如果反射器的曲率有偏差，那么晶圆的边缘就会出现“冷点”，甚至会导致晶圆变形。我们使用抛物线形或椭圆形的反射器，这样才能确保热量能够集中地传递到晶圆上，从而使整个晶圆上的温度分布更加均匀。这样就不会出现不均匀的固化现象了。

Sun, 19 Jul 2026 08:12:03 +0800

在半导体制造厂里，每浪费一瓦特的能量都是一种损失。当启动固化灯时，我们的目标并非仅仅让物体变热，而是将热量精准地传递到晶圆上。

问题在于，普通的反射器存在泄漏现象，大量能量会流失到外壳中，从而造成浪费。因此，我们才使用镀金技术——它能够有效防止能量泄漏。