Tại sao chúng ta sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong các buồng kiểm soát môi trường cho ngành bán dẫn
Khi làm việc trong nhà máy sản xuất bán dẫn, “độ sạch” không chỉ là một mục tiêu mà còn là yếu tố quan trọng nhất. Không thể để có bất kỳ hạt bụi hay chất cặn nào làm gián đoạn công việc của bạn.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong các buồng kiểm soát môi trường. Hầu hết mọi người nghĩ rằng việc sưởi ấm chính là việc làm ấm không khí, nhưng tia hồng ngoại thì khác. Nó sử dụng bức xạ điện từ để truyền nhiệt trực tiếp vào vật liệu cần được sưởi. Không cần phải sử dụng hệ thống làm nóng bằng không khí – điều này thường gây ra sự xuất hiện của các hạt bụi và làm hỏng môi trường trơ cần thiết trong buồng kiểm soát môi trường. Chỉ có nhiệt độ sạch thôi.
Đảm bảo tính “không chứa chì” trong quy trình sản xuất
Các lò sưởi truyền thống có thể gây nhiều rắc rối. Chúng thường phải sử dụng chất xúc tác hóa học để hoạt động hiệu quả.
Trong khi đó, phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại thì không cần điều đó. Nó làm rung động các phân tử của vật liệu cần được sưởi. Dù bạn đang sấy wafer hay làm khô chất cảm quang, nhiệt độ vẫn được truyền trực tiếp vào vật liệu. Nhờ hiệu suất truyền nhiệt cao, bạn không cần phải sử dụng các chất hóa học nặng để hạ nhiệt độ trong quy trình sản xuất. Hơn nữa, vì nguồn nhiệt được tách rời khỏi vật liệu cần được sưởi, việc đáp ứng các tiêu chuẩn “không chứa chì” trở nên dễ dàng hơn nhiều.
Công suất, tốc độ và nguy cơ bị cháy
Chúng ta thường chọn loại bộ sưởi dựa trên bước sóng – sóng ngắn hoặc sóng trung bình – tùy thuộc vào độ dày của vật liệu. Sóng ngắn có khả năng xuyên sâu và nhanh hơn. Điều này giúp nhiệt độ tăng lên nhanh chóng, từ đó giúp rút ngắn thời gian xử lý. Điều này thật tuyệt vời. Bạn không cần phải chờ đợi lò sưởi làm nóng chậm rãi nữa. Chỉ cần vài giây thôi là lò đã sẵn sàng sử dụng.
Nhưng bạn cần chú ý đến mật độ năng lượng. Nếu bạn sử dụng quá nhiều công suất trên một diện tích nhỏ, các mép của vật liệu có thể bị cháy. Để tránh điều này, chúng ta luôn kết hợp bộ sưởi với bộ điều khiển PID. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định và tránh tình trạng quá nhiệt.
Lợi ích của việc sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại
Điều tuyệt vời nhất là những bộ sưởi này có thể thay thế hoàn toàn các bộ sưởi truyền thống. Chúng giúp tiết kiệm không gian. Không cần phải sử dụng các ống dẫn khổng lồ nữa. Vì bạn không cần phải sưởi toàn bộ không gian trong buồng kiểm soát môi trường, chi phí năng lượng cũng giảm đi.
Chỉ cần lưu ý một điều: hãy chú ý đến các bộ phận kín của buồng kiểm soát môi trường. Nhiệt độ cao có thể làm biến dạng các bộ phận này. Nếu bạn kiểm soát tốt điều này, việc làm việc sẽ trở nên dễ dàng hơn nhiều.