Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 300mm, sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong quá trình nung ủ không chỉ gây ra sự sai lệch về độ dày của lớp phim mà còn khiến nhiều wafer bị hỏng. Vì vậy, chúng tôi đã chế tạo bóng đèn sưởi halogen bằng thạch anh nhằm duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình sản xuất, ngay cả khi máy móc hoạt động ở công suất tối đa.
Điều quan trọng cần lưu ý Bộ phận phát nhiệt của bóng đèn là chất halogen tia ngắn, được bao bọc trong vỏ thạch anh có độ tinh khiết cao. Bóng đèn này giúp tạo ra nhiệt lượng nhanh chóng với độ trễ nhiệt thấp. Trên bề mặt wafer, độ đồng đều về nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C, giúp lớp phim phản ứng một cách đều đặn với nhiệt độ, thay vì bị ảnh hưởng bởi các điểm nóng. Thiết kế của bóng đèn giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong cả quá trình nung ủ mềm và nung ủ cứng. Ngoài ra, bóng đèn còn giúp giảm thiểu việc phải thay thế các linh kiện do lỗi kỹ thuật. Khả năng tương thích với các chuẩn môi trường sạch từ loại 1 đến 100 được đảm bảo nhờ vào việc sử dụng vật liệu ít phát khí và thiết kế không gây ra sự gia tăng số lượng hạt bụi khi bóng đèn hoạt động.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn Trong quy trình in ấn, độ ổn định của nhiệt độ có ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm. Với bóng đèn này, bạn có thể kiểm soát chiều rộng của các đường nét in một cách chính xác, giảm số lượng wafer bị hỏng, và giảm sự biến đổi nhiệt độ trong quá trình nung ứng. Phản ứng nhiệt nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời giữ cho chất lượng sản phẩm ổn định. Các bộ phận này đã hoạt động được hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ sản phẩm bị hỏng chỉ dưới 5%, điều này giúp giảm thiểu việc thay thế linh kiện và giảm thời gian ngừng hoạt động không mong muốn. Việc sử dụng năng lượng cũng được kiểm soát tốt, vì nhiệt lượng được phân bố đều trên bề mặt wafer, chứ không phải trên toàn bộ khoang máy.
Những lưu ý quan trọng khi sử dụng bóng đèn Bóng đèn không thể chịu đựng được các điểm nóng cục bộ, vì vậy cần lắp đặt nó theo đúng hướng yêu cầu và với dòng khí phù hợp. Cần kiểm tra kỹ hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng và nhiệt độ của ổ cắm – nếu không, nhiệt độ sẽ không được phân bố đều. Bóng đèn này tương thích với các thiết bị OEM tiêu chuẩn, nhưng cần kiểm tra kỹ lưỡng trong quá trình bảo trì để tránh sự không tương thích giữa các kết nối, đồng thời đảm bảo chất lượng môi trường sạch như mong muốn.