کلاس 100 کے صاف ماحول میں سلیکون ویفرز کو گرم کرتے وقت، آپ کو پہلے ہی اس مشکل کا اندازہ ہوگا۔ صرف ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ – یعنی ایک مائکرون کے برابر – بھی پورے بیچ کے مصنوعات کو بیکار بنا دیتا ہے۔
مسئلہ یہ ہے کہ زیادہ تر عام حرارت پیدا کرنے والے آلات میں بہت سی غیرخالصیاں موجود ہوتی ہیں؛ یہ آلات گرم ہونے اور ٹھنڈے ہونے کے دوران مائکروسکوپیک سطح کے ذرات خارج کرتے رہتے ہیں۔ یہ ایک بہت بڑا خطرہ ہے۔
ہم اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے اعلیٰ خالصیت والے مصنوعی کوارٹز IR لیمپ استعمال کرتے ہیں۔ یہ لیمپ خصوصی طور پر سیمی کنڈکٹر صنعت کے لئے تیار کئے گئے ہیں؛ یہاں “صفائی” کا مطلب ہمارے لئے موجودہ معنوں سے بالکل مختلف ہے۔
ذرات کے خلاف جنگ
ہم انتہائی کم غیرخالصیت والے فیوژڈ سیلیکا کا استعمال کرتے ہیں۔ کیوں؟ کیونکہ یہ لیمپوں کو دھاتی آئنوں یا دیگر ذرات کے خروج سے بچاتا ہے۔
لیمپوں کو بند کرنے سے پہلے، ہم انہیں ایک سخت صفائی کے عمل سے گزارتے ہیں؛ اس طرح سطح پر موجود تمام غیرخالصیاں دور ہو جاتی ہیں۔ اس طرح، جب آپ لیمپ کو چالو کرتے ہیں، تو ویفر پر صرف انفراریڈ شعاعیں ہی پڑتی ہیں… کوئی دوسری چیز نہیں۔
مناسب حرارت کا حصول
یہ صرف صفائی کا معاملہ نہیں، بلکہ درستگی کا معاملہ بھی ہے۔ ہم ان لیمپوں کو ایسے ہی ٹیون کرتے ہیں کہ وہ مستقل طور پر شارٹ-ویو انفراریڈ شعاعیں پیدا کریں۔ یہ شعاعیں ویفر کی سطح میں تیزی سے اور یکساں طور پر پہنچتی ہیں… اس طرح ویفر جلدی گرم ہو جاتا ہے، اور سطح پر کوئی سرد جگہ باقی نہیں رہتی۔
لیکن ایک مشکل بھی ہے…
اعلیٰ خالصیت والا کوارٹز کافی نازک ہوتا ہے؛ یہ حرارت کو تو برداشت کر سکتا ہے، لیکن گرنے یا ٹکرانے کو برداشت نہیں کر سکتا۔
ایک اور مشورہ: ویکیوم-مطابق ہارڈویئر کا استعمال کریں… ورنہ آپ اپنے چیمبر میں پھر سے غیرخالصیاں لا رہے ہیں، جس سے پورا مقصد برباد ہو جاتا ہے۔
انہیں اپنے سسٹم میں نصب کرنا
ہم نے ان لیمپوں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ انہیں آسانی سے نصب کیا جا سکے… یہ لیمپ، آپ کے موجودہ سسٹم کے مطابق ہی ہیں… لہذا آپ کو پاور سپلائی کو دوبارہ ڈیزائن کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
صرف ایک بات کا خیال رکھیں: اپنے کولنگ سسٹم کی جانچ کریں… یقین کریں کہ یہ ویفر سے پیدا ہونے والی حرارت کو برداشت کر سکتا ہے… ورنہ فلامنٹ جلد ہی خراب ہو جائے گا۔