http://warm-ir-heater-ware.com/uk/tags/%D1%82%D1%80%D0%B5%D0%BA/ Recent content in Трек on Warm IR Heating Hardware Hugo uk Sat, 06 Jun 2026 00:54:59 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/uk/posts/wafer-track-heating-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 00:54:59 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/uk/posts/wafer-track-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа нагріву для wafer track"></p> <p>На ділянці літографії навіть зсув у один градус під час м’якого випікання призводить до відхилення товщини фоторезисту від норм. Нерівномірність твердого випікання — це загроза колапсу малюнка. Нагрівальні лампи на доріжці для пластин — це не просто компоненти, а тепловий анкер, який забезпечує стабільність процесу зміну за зміною.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong></p> <p>Цю лампу ми побудували на базі галогенних випромінювачів короткохвильового інфрачервоного спектра (SWIR) в кварцовому балоні. Суть — пряма передача енергії у фоторезист, без нагрівання камери. Забезпечується термальна однорідність на рівні пластини в межах ±0,1°C по всій поверхні випікання, а стійкість встановленої температури витримує безперервний режим роботи фарбованого підприємства. Вихідна потужність стабільна в діапазоні 100°C–250°C, при цьому відновлення після завантаження пластини відбувається менше ніж за секунду — отже, тепловий бюджет контролюється жорстко. Корпус сумісний з чистими приміщеннями класу 1–100, перевірено відсутність генерації часток за допомогою in-situ моніторингу, а сама лампа відповідає форм-фактору і інтерфейсам основних платформ wafer track.</p>