http://warm-ir-heater-ware.com/uk/tags/%D0%B5%D0%BF%D1%96%D1%82%D0%B0%D0%BA%D1%81%D1%96%D1%8F/ Recent content in Епітаксія on Warm IR Heating Hardware Hugo uk Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/uk/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/uk/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа інфрачервоного випромінювання для нагріву в епітаксії"></p> <p>На лінії обробки знаходиться пластинка діаметром 200 мм, яка чекає на свою чергу для обробки фотополімером. Процес нагрівання є обов’язковим – це частина технологічних вимог. Навіть незначна зміна температури може призвести до зміни критичних розмірів пластинки. У такому разі процес стає неможливим до завершення. Ми використовуємо інфрачервоні лампи для нагрівання епітаксіального шару, щоб запобігти таким втратам на початковому етапі.</p> <p>З технічної точки зору важливо те, що ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні галогенові лампи для швидкого та прямого нагрівання. Спектр випромінювання ефективно проникає в кремній та тонкі плівки. Система забезпечує однорідність температури на поверхні пластинки в межах ±0,1°C протягом усього процесу, а повторюваність результатів – в межах ±0,2°C між окремими циклами обробки.</p>